| 研究領域 | 3次元半導体検出器で切り拓く新たな量子イメージングの展開 |
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| 研究課題/領域番号 |
25109002
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| 研究機関 | 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構 |
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研究代表者 |
新井 康夫 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 教授 (90167990)
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| 研究分担者 |
三好 敏喜 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, 素粒子原子核研究所, 研究機関講師 (20470015)
井田 次郎 金沢工業大学, 工学部, 教授 (60506450)
倉知 郁生 大学共同利用機関法人高エネルギー加速器研究機構, その他部局等, 特別教授 (00533944)
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| 研究期間 (年度) |
2013-06-28 – 2018-03-31
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| キーワード | 半導体 / Silicon On Insulator / 放射線センサー / 先端機能デバイス / 微細加工プロセス |
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| 研究実績の概要 |
2014.7月31日-８月１日の２日間にわたりSOI検出器の設計講習会をKEKにおいて行い、34名の参加を得た。終了後参加者からの感想を聞き、来年度以降の講習会に活かしていくこととした。
また第２回目の相乗りプロセス(MultiProject Wafer : MPW）ランを１１月に行い、計画研究班及び公募研究班からの２１種の設計が持ち寄られ、プロセスを行った。完成したチップは、それぞれの要望に応じてウエハ、ベアチップ、パッケージチップの形で配布した。
金沢工業大学ではSOIの特性を生かしたSuper Steep Transistor(SST)の研究が進んだ。またSOIチップを２個積層した３次元集積回路チップの試作も進んだ。
2014年５月には大阪大学で、また11月には金沢工業大学でSOI研究会があり、研究発表を行った。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
設計講習会を行うことで、検出器設計に加わる研究者の数が増え、多くの設計を集めて試作プロセスを行うことが出来ている。また検出器の感度を上げる為のSuper Steep Transistorの理解も進み、３次元集積回路の試作も行うことが出来た。
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| 今後の研究の推進方策 |
今後も設計のノウハウや性能向上の為の講習会を開催し、若手研究者の技術力の向上を図っていく。さらに、SSTトランジスタや３次元積層技術等の新しい課題にチャレンジし、SOI検出器の新たな可能性を広げていく。
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