| 研究領域 | 3次元半導体検出器で切り拓く新たな量子イメージングの展開 |
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| 研究課題/領域番号 |
25109003
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| 研究種目 |
新学術領域研究(研究領域提案型)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 審査区分 |
理工系
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
川人 祥二 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (40204763)
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| 研究分担者 |
池辺 将之 北海道大学, 量子集積エレクトロニクス研究センター, 教授 (20374613)
香川 景一郎 静岡大学, 電子工学研究所, 准教授 (30335484)
安富 啓太 静岡大学, 電子工学研究所, 助教 (50621661)
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| 研究期間 (年度) |
2013-06-28 – 2018-03-31
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| キーワード | 量子イメージング / 電荷収集構造 / イベント駆動型量子エネルギー計測 / 広ダイナミックレンジ / 時間デジタル変換 |
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| 研究成果の概要 |
SOIを用いた高感度量子線ピクセル検出器としてPinned Depleted Diode構造によるSOIピクセル(SOIPIX-PDD)を提案し、極めて優れた性能が得られることを試作により実証した。本ピクセルは、SOI回路層下の埋込酸化膜界面にホール蓄積ピニング層を設け、その下部に検出した信号電子を高速走行させるチャネルを形成し、微小容量の検出部に収集することで、低ノイズ・低暗電流・高電荷収集効率が得られる。5.9keVのX線エネルギースペクトルを171eVの半値全幅で計測することに成功した。ロックインSOIピクセル及び質量分析用到達時間検出SOI回路についても開発し、新しい知見を得た。
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| 自由記述の分野 |
工学、電気電子工学、電子デバイス・電子機器
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