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[文献書誌] 加藤邦夫,黛雅典,飯島健,大久保裕司,宝田恭之: "ディスク型CVD装置内での平均物質移動係数" 化学工学論文集. 15. 832-836 (1989)
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[文献書誌] 加藤邦夫,黛雅典,飯島健,宝田恭之: "ディスク型CVD装置における局所物質移動係数に及ぼす二重管式ノズルの効果" 化学工学論文集. 15. 837-842 (1989)
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[文献書誌] 稲垣隆之,小宮山宏: "超微粒子沈着CVDによるAIN膜の高速成膜" 化学工学論文集. 15. 849-856 (1989)
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[文献書誌] Kazunori Watanabe,Hiroshi Komiyama: "Micro/macrocavity method Applied to seudy of th Step Coverage Formation of SiO_2 by LPCVD" J.Electrochem.Soc,in press. 137. (1990)
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[文献書誌] K.Hashimoto,K.Miura,T,Masuda,M.Toma,H.Sawai,M.Kawase: "Grewth Kinetics of Polycrystalline Silicon from silane by Thermal Chemical Vapor Deposition Method" J.Electrochem.Soc.137. 1000-1007 (1990)