| 研究課題/領域番号 |
01460099
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
伊東 誼 東京工業大学, 工学部, 教授 (60016441)
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| 研究分担者 |
小泉 忠由 東京工業大学, 工学部, 助手 (90016527)
橋詰 等 東京工業大学, 工学部, 助手 (50218400)
新野 秀憲 東京工業大学, 工学部, 助教授 (40196639)
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| キーワード | 超精密加工 / 超精密測定 / テ-ブル駆動系 / 送り駆動系 / 移動テ-ブル / 連結機構 / 運動誤差 / 結合部 |
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| 研究概要 |
超精密加工用工作機械や超精密測定機の構造分析を行った結果超精密移動テ-ブル系におけるテ-ブルと送り駆動系の連結機構はそれらの加工装置や測定装置において重要な構成要素でありながら、これまで国内外においてほとんど検討がなされていないことが明らかとなった。そこで、本年度においては以下のような研究を実施した。
1.現在の超精密加工機及び超精密計測装置の構造分析を行い、それらに用いられているテ-ブルと送り駆動系の連結機構の問題点を明らかにした。その結果、テ-ブルと送り駆動系の連結機構には、駆動系の外乱、例えば駆動系の振れ回り、上下動、取付誤差等の誤差要因を除去、あるいは吸収しながら、テ-ブルに高い剛性を与えるという「柔な設計」と「剛の設計」という極端な二面性が要求されることを明らかにした。また、その解決のためには、テ-ブルと送り駆動系の連結部分に誤差要因の吸収機構を具備すると共に、剛性、減衰能、熱的特性を制御可能な新たな機構を組込むことが必要不可欠であることを明らかにした。
2.前述の分析結果に基づき、駆動系の誤差要因の伝達を抑制し、テ-ブルのピッチング、ヨ-イング、ロ-リング等のテ-ブルの運動誤差を最小化できると考えられる新たなテ-ブル・送り駆動系の連結機構を開発した。
3.精密送りテ-ブルとして空気静圧案内を有するリニアモ-タによるテ-ブル駆動系システムを開発し、そのテ-ブルと駆動系の連結部分に上述の連結機構を組込み、その評価試験を行った。その結果、所期の目的をほぼ達成することができた。今後、詳細な分析、及び調整を行い、更に性能向上を図る予定である。
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