プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用

1991 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 01460101
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 森田 愼三 名古屋大学, 先端技術共同研究センター, 助教授 (00076548)
• 研究分担者: 服部 秀三 (財)名古屋産業科学研究所, 電子機械研究部, 部長 (10023003) ; 羽根 一博 名古屋大学, 工学部, 助教授 (50164893)
• キーワード: プラズマ重合レジスト / 電子線リソグラフィ立体加工法 / プラズマ重合スチレンネガレジスト / プラズマ重合αメチルスチレンネガレジスト / サブミクロンパタ-ン加工 / キセリヤ-ガス効果 / 静電モ-タ加工

研究概要

プラズマ重合レジストを用いた電子線真空リソグラフィによる立体加工法の開発を行い、それを利用した円柱型静電気力駆動モ-タ-の試作を目的としている。
初年度においては、新しいガスフロ-型プラズマ重合装置を開発し、スチレン重合膜が0.5μmの解像度を有するネガレジストであることが明らかにした。また、円柱上に静電モ-タ-用電極を描画加工するために、真空描画装置内設置型横型角度割り出し装置を製作した。
二年度では、ガラス細管に金属膜を一様にコ-ティングできる蒸着装置を作成し、ガラス細管へアルミニウム蒸着膜を一様にコ-ティングできることを確認した。さらに、プラズマ重合スチレンに加えて、新らたにプラズマ重合αメチルスチレンレジストを開発した。
本最終年度においては、ガラス細管表面に静電モ-タ-電極の形成を試みた。実験は、ガラス細管への一様なアルミニウム蒸着膜コ-ティング、プラズマ重合装置によるレジスト膜コ-ティング、横型角度割り出し装置を使用した電子線描画装置による加工パタ-ン描画、現像、現像パタ-ンをマスクにしたアルミニウム膜のエッチング加工を実施した。アルミニウム蒸着中にガラス細管を回転させることによって均一なコ-ティングを実現した。プラズマ重合膜コ-ティングはガラス細管を放電領域に設置するだけで、ほぼ均一なコ-ティングを達成した。描画パタ-ンの現像は有機溶剤にて、また、アルミニウムのエッチィングは塩酸によって行った。実験の結果、アルミニウム膜のエッチング加工を行うことができた。しかし、横型角度割り出し装置のガラス細管保持が正確に行えなかったため、設計したパタ-ンを正確に加工することはできなかった。

研究成果

• [文献書誌] S.Morita,G.K.Vinogradov: "Imporoved Gas Flow Type Reactor For Plasma Polymerization" Int.Symp on theor.and Appl.Asp.of Plasma chem.Riga,Latria.Sep.24ー27. (1991)
• [文献書誌] S.Morita,Sang Hyum Park: "Plasma Polymerized Model In Gas Flow Type Reactor" Ist Int.Symp on Atom.Contro.Sury and Futf Bー7.Nov.19ー22(Appl.Surface Sci). (1991)
• [文献書誌] S.Morita.T.Naganawa,JongーTack Kim,DuckーChool Lu,G.K.Vinograda: "Functional Plasma Polymerized Thin Film by a Now Type of Reactor" Proc.of 3rd Int Cont.on Properties and Appl,of Dielectric Materials.Tokyo.July 8ー12. (1991)
• [文献書誌] S.H.Park.T.Naganawa,T.Kano.,S.Morita: "Plasma Polynerization of Styrene and αーmethylstyrem by Radical Beam Activation" Proc.of Int.Symp on Plasma Chem.Bochum,Germany.Aug.4ー9. (1991)