| 研究課題/領域番号 |
01460101
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
機械工作
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
森田 慎三 名古屋大学, 先端技術共同研究センター, 助教授 (00076548)
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| 研究分担者 |
服部 秀三 (財)名古屋産業科学研究所, 電子機械研究部, 部長 (10023003)
羽根 一博 名古屋大学, 工学部, 助教授 (50164893)
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| 研究期間 (年度) |
1989 – 1991
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| キーワード | プラズマ重合レジスト / 電子線リソグラフィ立体加工法 / プラズマ重合スチレンネガレジスト / プラズマ重合αメチルスチレンネガレジスト / サブミクロンパタ-ン加工 / キャリヤ-ガス効果 / 静電モ-タ-加工 |
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| 研究概要 |
プラズマ重合レジストを用いた電子線真空リングラフィによる利体加工法の開発を行い、それを立用した円柱型静電力駆動モ-タ-の試作を目的としている。
初年度においては、新しいガスフロ-型プラズマ重合装置を開発しスチレン重合膜が0.5μmの解像度を有するネガレジストであることが明らかと成った。また、円柱上に静電モ-タ-用電極を描画加工するために、真空描画装置内装置型横型角度割り出し装置を製作した。
二年度では、ガラス細管に金属膜を一様にコ-ティングできる蒸着装置を作成し、ガラス細管へアルミニウム蒸着膜を一様にコ-ティングできることを確認した。さらに、プラズマ重合スチレンに加えて、新らたにプラズマ重合αメチルスチレンレジストを開発した。
本最終年度においては、ガラス細管表著に静電モ-タ-電極を形成を試みた。実験は、ガラス細管への一様なアルミニウム蒸着膜コ-ティング、プラズマ重合装置によるレジスト膜コ-テイング、横型角度割り出し装置を使用した電子線描画装置による加工パタ-ン描画、現像、現像パタ-ンをマスクにしたアルミニウム膜のエッチング加工を実施した。実験の結果、アルミニアム膜のエッチング加工を行うことができた。しかし、横型角度割り出し装置のガラス細管保持が正確に行えなかったため、設計したパタ-ンを正確に加工することはできなかった。
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