研究概要 |
1.励起粒子の生成密度分布の決定 電子エネルギ-の非平衡領域を含めたギャップ条件で、励起粒子生成分布をモンテカルロシミュレ-ションにより求めた。Ne/Ar混合ガス及び、N_2、Ar,Neなどの単一ガス中でデ-タを集積しスオ-ムパラメ-タに関する議論をした。 2.励起粒子の消滅過程 前項1で得られた結果を基礎として消滅過程を吟味した。今年度は、従来の方法とは全く独立に励起粒子の拡散方程式を第3種の境界値問題として扱うことにした。この方法により境界上での反射がある場合の消滅過程を明かにできた。 3.過渡電流波形と励起粒子の高感度検出測定 Towsend放電域での過渡電流波形の観測を前項2の結果に基づいて解析し、N_2(A^3Σ^+_U)の拡散係数、失活の反応速度係数、電極面での反射率を決定した。また、励起粒子の高感度検出法により、N_2(A^3Σ^+_U)と解離N原子とを区別して観測できることを確認した。 4.研究結果の報告 励起粒子の生成過程について論文をまとめ投稿中である。他にICPIG(1989,及び1991)に2件の論文を、又GD92(Gas Discharges and their Applications)に論文を提出済みである。励起分子に関する実験結果をまとめた論文を電気学会に2篇報告した。
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