SAW(Surface Acoustic Wave)と略称される弾性表面波デバイスは、エレクトロニクス産業におけるキ-デバイスの一つとして2の地位を確立しているが、特に最近になって、より高周波化、低損失化、小型・軽量化を目指した高性能SAWデバイスの研究が活発化するのに伴い、その信頼性、再現性がさらに一段と厳しく要求されるようになり、一部経験に頼らざると得なかった従来の設計法に代る高精度な設計技法開発に対する要望が急速に高まっている.本研究では、SAWデバイスの高周波化、低損失化、小型・軽量化などの要請に対応できる高度なSAWデバイス設計技術を開発するとともに、SAWデバイスの高性能化実現の指針となる設計資料を提供することを目的として研究を進め、下記の成果を得た. 1.SAWデバイスの基本構造であるグレ-ティング、すなわち周期構造導波路を伝搬するSAWのブリルアンダイアグラムを算出するための有限要素法に基づく高精度な解析法を開発した. 2.SAW反射器の反射特性ならびにSAW励振用すだれ状電極の励振特性を資価するためのもモ-ド結合理論、あるいは等価回路理論に基づく解析法を開発した。モ-ド結合方程式中の結合係数や変換係数、また、等価回路中の回路定数は、従来、経験的に、あるいは実験的に定められることが多かったが、本研究では、1.の有限要素法によって算出されたストップバンドに関する情報から、これらの諸定数をすべて理論に定めることを可能とした。 3.SAWとともに、移動体通信用デバイスへの応用が活発化している静磁波の伝搬特性を評価するための解析法を開発した.
|