| 研究課題/領域番号 |
01550512
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| 研究機関 | 大同工業大学 |
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研究代表者 |
岩間 三郎 大同工業大学, 工学部・応用電子工学科, 教授 (00075904)
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| 研究分担者 |
早川 謙二 大同工業大学, 工学部・応用電子工学科, 助手 (50075909)
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| キーワード | 超微粒子 / γーFe / 常磁性鉄 / マイクロ波プラズマ / 非平衡加熱 / FeーC系化合物 |
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| 研究概要 |
オイル・フリ-の真空排気系を用いた場合、γ相Fe超微粒子の生成には微量の炭素が必要であるとの結果を得た。キャリアガス(Ar、He)中にCH_4ガス(炭素)を混入させ、混入量およびマイクロ波電力に対するγーFe生成量の依存性を調べた。
(1)CH_4量とγーFeの生成量
マイクロ波電力500W、ガス流速40m/sのもとでキャリアガス中へ0〜500PPmまでCH_4ガスを混入させた。Arガスの場合、γーFeは約6PPmのCH_4ガスで生成される。それ以上にCH_4ガスを増加させると生成量は急激に増大し、90PPmのCH_4ガスでγは55%生成された。さらにCH_4ガスを増すとγは緩やかに減少した。約450PPm以上のCH_4ガスでは、α、γ相に加えてFeーCと同定出来る化合物(FeC、Fe3C)がわずかに見られる。FeーCの化合物はCH_4ガスの増加にともない強く現れる傾向が見られた。
Heをキャリアガスに用いた場合、γは約100PPmのCH_4ガスで40%生成される。γ生成量はガス混入量の増加にもよらずほぼ同程度を示し、FeーCの化合物も見られない。Heをキャリアガスに用いると広いプラズマ発光領域が得られることから、プラズマの密度はγ及びFe化合物の生成に影響をおよぼすものと考えられる。
(2)マイクロ波電力とγーFeの生成量
ガス流速40m/s、CH_4ガス90PPmのもとでAr、Heガスについてγの生成量を調べた。Arの場合、γは電力の増大につれて増し700Wで60%生成される、その以上の電力では急激に減少した。800W以上の電力の増大はγの生成に反してFeーC化合物をより増加させる傾向が見られた。
Heガスでは、γの生成量は500Wで40%を示すがそれ以上では大きく減少した。FeーC化合物は電力1KWの場合でも見られなかった。
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