| 研究概要 |
1、シラン曝露実験の解析およびまとめ
前年度〜今年度初頭にかけて実施したシラン曝露実験の解析およびまとめを行った。結果概要は、ICR雄マウスによるシラン30分曝露のLCLOは、10,000ppm以上であること、1時間、2時間、4時間、8時間、2週間、4週間ののLCLOは、1,000ppm以上であること、シランに対するもっとも敏感な標的臓器は腎臓であること、病理学的に不可逆的な変化は、7,500ppm30分曝露以上の濃度でみられたこと、シランの刺激性は弱いこと等であった。これらの実験結果は、従来知られていなかったことであり、半導体製造関連産業にとっては貴重なデ-タといえよう。
2、ホスフィン曝露実験
第2番目の半導体製造特殊ガスとしてホスフィンを取り上げ、予備実験、短期間曝露実験を継続中である。
3、報告書の作成
実験装置の作成、シランに関する基礎実験、シラン曝露実験結果を内容とする報告書を作成した。
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