| 研究課題/領域番号 |
01850008
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| 研究機関 | 京都工芸繊維大学 |
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研究代表者 |
遠藤 久満 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授 (20027907)
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| 研究分担者 |
原田 嘉晏 日本電子(株), EO技術本部, 本部長
大野 恭秀 新日鉄(株), 第一技術研究所, 主任研究員
坪川 純之 大阪大学, 工学部, 教務員 (40175469)
志水 隆一 大阪大学, 工学部, 教授 (40029046)
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| キーワード | 電子線ホログラフィ- / 白金極細線 / 電子線バイプリズム / 原子直視電子顕微鏡 / 原子直視ホログラフィ-顕微鏡 / オンライン画像処理 |
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| 研究概要 |
本研究は0.1μm極細線電子線バイプリズムの試作を行い、高輝度電子銃をもつ電子顕微鏡にこれを取りつけてその解析を行ない、解像度が高く干渉領域の広い原子直視電子線ホログラフィ-顕微鏡を実現することをその目的としている。本年度はこの研究の最終年度であり以下の研究を実施した。
(1)線引き法により直径0.3μmの白金極細線を直接製作することができた。(2)イオン・シニング法により0.1ー0.3μmの太さまで白金を細線化することができた。(3)高解像度、広干渉領域の原子直視電子線ホログラフィ-顕微鏡を実現するためには、バイプリズム・フィラメントの直径を細くするだけでなく、照射ビ-ムの開き角を小さくする方が効率のよいことも理論的に明らかにした。(4)加速電圧200kVのLaB_6電子銃を備えた通常の高分解能電子顕微鏡においても電子ビ-ム照射角度を調整することにより有効な電子線ホログラフィ-実験が可能であることを示した。また加速電圧400kVの原子直視電子顕微鏡においては、200kVの時と比べて干渉縞のコントラストが高く、電子線ホログラムの観察に適していることも確認できた。(5)TVカメラを電子線ホログラフィ-顕微鏡につなぎこれの高感度・高解像化をはかるとともに、これのオンライン処理も行なえるようになった。
以上より、電子線バイプリズム用の直径0.1ー0.3μm白金極細線の試作に成功し、これを用いた高解像高感度の電子線ホログラフィ-顕微鏡実現の方法が明らかになり、当研究の目的は達成された。
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