| 研究課題/領域番号 |
01850058
|
|---|
| 研究種目 |
試験研究(B)
|
| 配分区分 | 補助金 |
|---|
| 研究分野 |
電子材料工学
|
|---|
| 研究機関 | 東北大学 |
|---|
研究代表者 |
三野宮 利男 東北大学, 工学部, 教務職員 (40222418)
|
|---|
| 研究分担者 |
金井 浩 東北大学, 工学部, 講師 (10185895)
櫛引 淳一 東北大学, 工学部, 助教授 (50108578)
中鉢 憲賢 東北大学, 工学部, 教授 (20006224)
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
1989 – 1990
|
| キーワード | 直線集束ビ-ム超音波顕微鏡 / V(z)曲線解析法 / 漏洩弾性表面波 / 音速・減衰 / 電子デバイス材料 / 定量計測 / 音響特性の不均一 / 非破壊検査 |
|---|
| 研究概要 |
本研究においては、電子デバイス材料に関する科学的・産業的諸問題を評価・解析できる「直線集束ビ-ム(LFB)超音波顕微鏡システム」を実現し、その有用性を実証した。
1.実用化システムの構築とその計測法の確立:(1)システムの測定精度と安定性は、電気回路部、機械部、信号処理部、および測定環境の安定度と密接な関係がある。システムの機械制御部を改良し、また、測定環境(カプラである水の温度)の安定化を計り、電子材料の評価・解析に適用できる十分な測定精度をもつシステムを確立した。GGG単結晶の基準ウェハに対して実験を行ったところ、固定点の相対音速測定において±0.005%、3インチφ以内の測定範囲で±0.02%という測定精度を達成した。(2)ウェハ上の微小領域における音響特性を定量計測できる200MHz帯のマイクロLFBプロ-ブを開発した。(3)高信頼性、高速測定及び高速処理のためのソフトウェアを開発した。(4)新しい複素V(z)曲線解析法を開発し、測定原理を拡張した。
2.弾性表面波デバイス用単結晶のLiNbO_3とLiTaO_3の評価:(1)LiNbO_3のcongruent組成を正確に決定した。(2)LiTaO_3単結晶の育成条件と音響的品質の評価、基板製造過程における諸問題の解決に適用し、本評価法が極めて有用であることを実証した。
3.asーgrown薄膜材料の弾性定数定法の開発:薄膜層状構造における漏洩レイリ-波の伝搬特性に加えて、漏洩セザワ波と漏洩擬似セザワ波のカットオフ領域の伝搬特性を利用し、弾性定数と密度と膜厚を同時に決定できる新しい方法を開発した。溶融石英基板上に真空蒸着法で形成した金薄膜の評価に適用し、その膜の弾性定数C_<44>と密度がバルク値よりもそれぞれ11%、5.5%小さくなることを明らかにした。
|
