ナノメ-トルイオンプロ-ブ技術の開発

1990 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 01850089
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 難波 進 大阪大学, 極限物質研究センター, 教授 (70029370)
• 研究分担者: 木野村 淳 大阪大学, 基礎工学部, 助手 (90225011) ; 弓場 愛彦 大阪大学, 基礎工学部, 助手 (30144447) ; 高井 幹夫 大阪大学, 基礎工学部, 助教授 (90142306)
• キーワード: イオンプロ-ブ / イオンビ-ム / トロイダル分析器 / 半導体 / 3次元分析 / ナノメ-トルイオンプロ-ブ

研究概要

1.高分解能トロイダルエネルギ-分析器の特性評価
設計試作した高分解能エネルギ-分析器の特性測定とそれを用いたイオンビ-ム軌道の解析を行い、設計どおりのエネルギ-分解能を得られることを明らかにした。
2.分析デ-タ収集システムの完成
高分解能エネルギ-分析器とCAMACモジュ-ルによる高速デ-タ収集処理系を用いたシステムを構築し、2次元・3次元デ-タのプロセスソフトウェアを開発し、3次元分析計測可能なナノメ-トルイオンプロ-ブシステムを完成させた。
3.システムの評価と最適化
試作したナノメ-トルイオンプロ-ブシステムを用いて、半導体テスト試料の測定を行い、システムの評価、デ-タ収集ソフトウェアの最適化を行った。さらに、測定結果をオ-ジェ分析、SIMS分析などの結果と比較検討した。
4.実用性の実証
半導体のプロセスステップへの本システムの応用を行い、高速高分解能計測が可能な本システムの実用性を実証した。

研究成果

• [文献書誌] 高井.阿川.石橋.平井.難波: "Influence of Ion Beam Fluctuation on Secondary Electron and RBS Mapping Images" Nucl.Instr.and Methods B__ー.
• [文献書誌] 木野村.高井.難波: "Image Processing for ThreeーDimensional Analysis by MeV Ion Microprobe" Nucl.Instr.and Methods B__ー.
• [文献書誌] 高井.平井.石橋.木野村.難波: "Evaluation of BeamーInduced Ablation during Microbeam Irradiation" Nucl.Instr.and Methods B__ー.
• [文献書誌] 井上.高井.石橋.平井.川田.難波: "Damage Induced during Channeling Measurement with a Nuclear Microprobe" Nucl.Instr and Methods B__ー.
• [文献書誌] 堀野.茶谷原.佐藤.高井: "3ーDimensional Microanalysis using Focused MeV Oxygen Ion Beam" Nucl.Instr and Methods B__ー.
• [文献書誌] 木野村.高井.佐藤.茶谷原.難波: "ThreeーDimensional RBS Analysis of Buried Layers Formed by Masked NickelーImplantation in Silicon" Japan.J.Appl.Phys.
• [文献書誌] 阿川.高井.石橋.平井.難波: "Influence of Current Ripple on Secondary Electron and RBS Mapping Images" Japan.J.Appl.Phys.29. L1011-L1014 (1990)
• [文献書誌] 木野村.高井.平井.難波: "Channeling Contrast Analysis of Local Defect Distributions Formed by Maslcless IonーImplantation" Nucl.Instr and Methods.
• [文献書誌] 阿川.高井.難波.内山.福井.山川: "500 keV Ion Accelerator with Two Types of Ion Source" Nucl.Instr and Methods.
• [文献書誌] 堀野.茶谷原.木内.藤井.佐藤.高井: "A Focused MeV Heavy Ion Beam Line for Materials Modification and Micro Analysis" Ion Beam Modification of Materials.
• [文献書誌] 堀野.茶谷原.木内.藤井.佐藤.高井: "Microbeam Line of MeV Heavy Ions for Materials Modification and InーSitu Analysis" Japan.J.Appl.Phys.29. 2680-2683 (1990)