| 研究課題/領域番号 |
01850183
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 研究機関 | 京都工芸繊維大学 |
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研究代表者 |
荒井 重義 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 教授 (10087538)
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| 研究分担者 |
小林 邦昭 レオニクス株式会社, 常務取締役
鈴木 敏夫 日清紡績株式会社, 取締役研究所長
石川 洋一 京都工芸繊維大学, 工芸学部, 助教授 (00167248)
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| キーワード | レ-ザ-同位体分離 / 赤外多光子分解による同位体分離 / シリコン同位体の分離 / ヘキサフルオロジシランの赤外多光子分解 / 炭素13の分離 / ジフルオロブロモクロロメタンの赤外多光子分解 |
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| 研究概要 |
本研究の最終目標は、炭酸ガスレ-ザ-によるシリコンの光化学的な同位体分離の実用化を計ることである。平成元年度および2年度の前半で試料ハンドリング・システムおよび反応管の設計・製作を終わり、照射および照射後の分析方法も確立した。さらに実験装置および実験方法を確認するためにCBr_2F_2およびCBrClF_2の赤外多光子分解による ^<13>Cの分離を研究し、有意義な結果を得た。
平成2年度の後半はSi_2F_6の赤外多光子分解を詳細に研究し、実用的な同位体分離に適した実験条件を決定することに努力した。その結果、収量と選択性の両方を考慮すると、炭酸ガスレ-ザ-は950cm^<-1>付近の光が、フルエンスは0.5から1.0Jcm^<-2>の範囲が、また圧力は10Torr以下がよいとの結論に達した。分解の際に副生する白色の微粉体は、コック、パイプなどの内部に付着して大規模分離を妨げる。そこで反応管の出口にフィルタ-を設置したが、微粉体の粒径が小さすぎて、さしたる効果は認められなかった。現在、その副生を防ぐ気体の添加剤を探している。
一方、平成2年度に購入した油回転ポンプを用いた大型の照射装置の設計・製作も進行している。最初の設計では、大型のガラス製反応管に無理がかかり破損したので、設計を変更し、その製作をほぼ終了した段階である。今後、上述の実験条件下での大規模分離における収量と選択性の測定に努めたい。
さらにSi_2F_6の同位体選択的な赤外多光子分解の実験結果に対する理論的な解釈ならびに計算機によるシミレ-ションも行われた。多光子吸収の各過程の吸収断面積、衝突脱活性速度、分解速度定数などに妥当な値を仮定したシミレ-ションの結果は、実験結果をほぼ満足に再現することが判明した。
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