| 研究課題/領域番号 |
01850203
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| 研究種目 |
試験研究
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| 研究機関 | 熊本大学 |
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研究代表者 |
江川 博明 熊本大学, 工学部, 教授 (50040358)
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| 研究分担者 |
江川 大海 チッソ(株), 開発室横浜分室, 研究員
小野 浩 チッソ(株), 開発室横浜分室, 主席研究員
東 廣巳 チッソ(株), 開発室横浜分室, 室長
塚本 兼二 熊本大学, 工学部, 助手 (40207345)
野中 敬正 熊本大学, 工学部, 教授 (50040423)
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| キーワード | 電子線レジスト / ポリ(2、3 / エピチオプロピルメタクリラ-ト) / ガラス転移温度 / 感度曲線 / preーbake / postーbake / 感度 / コントラスト |
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| 研究概要 |
ポリ(2、3ーエピチオプロピルメタクリラ-ト)(PETMA)及びその共重合体を電子線レジストとして利用するための基礎的研究を行った。ETMAとの共重合成分としてはスチレン誘導体(p及びmークロロスチレン、クロロメチルスチレン)を用いた。単独重合体及び共重合体はベンゼン中での溶液重合により得た。分別は沈澱法により行った。ガラス転移温度(Tg)は示差熱分析により求めた。レジスト作製時にpreーbake及びpostーbakeなどの熱処理が必要であるのでポリマ-の熱的性質を知ることは重要である。上記のポリマ-のTgは分散度に影響されず、その分子量と共重合組成に大きく依存し、分子量の増加とともに高くなり、ETMAの含有量が増加するにつれて低くなった。レジスト溶液はポリマ-2g/クロロベンゼン20mlに調製した。塗布条件は膜圧が0.5μmになるようにスピナ-の回転数を調節した。preーbake温度は分子量の増加とともに低下し、ETMA含有量が高くなるにつれて低下することが明らかになった。ETMAを含む重合体の電子線に対する感度は、分子量に依存し、分子量の増加とともに向上し、ETMAの含有量が高いものほど感度は高く、PETMAではポリpークロロスチレンの50倍の高い感度を示した。また感度曲線から求めたコントラストは、ETMA含有量が低いものほど、また分子量が小さいものほど高く、かつ分散度の小さいものほど高い値を示した。ETMAを含む共重合体の中で、ETMAーPークロロスチレン共重合体(EpC)は、ETMAーmークロロスチレン共重合体(EmC)に比べ感度はやや低いがコントラストはわずかに高い値を示した。またETMAークロロメチルスチレン共重合体(EC)は、EpC、EmCに比べ電子線に対する感度は高いものの、不安定なポリマ-であった。postーbake、耐ドライエッチング性及び電子線レジストとしての解像度等についても検討中である。
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