• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

1991 年度 研究成果報告書概要

気体エレクトロニクスー基礎過程とその応用ー

研究課題

研究課題/領域番号 02302034
研究種目

総合研究(A)

配分区分補助金
研究分野 応用物理学一般
研究機関名古屋工業大学

研究代表者

林 眞  名古屋工業大学, 工学部, 教授 (40024179)

研究分担者 生田 信皓  徳島大学, 工学部, 教授 (30035802)
真壁 利明  慶応義塾大学, 理工学部, 教授 (60095651)
旗野 嘉彦  東京工業大学, 工学部, 教授 (90016121)
田頭 博昭  北海道大学, 工学部, 教授 (10001174)
橘 邦英  京都工芸繊維大学, 工学部, 教授 (40027925)
研究期間 (年度) 1990 – 1991
キーワード気体エレクトロニクス / 半導体IC / 太陽電池 / 気体レ-ザ- / 画像ディスプレイ / 大気環境問題
研究概要

気体エレクトロニクスの研究は,半導体IC,太陽電池の製作,種々の気体レ-ザ-,画像ディスプレイ,地球大気環境問題等に関連した,近代エレクトロニクスの重要課題である。
平成2年11月12日から16日まで5日間,静岡県御殿場市の東山荘で,第2回オ-ストラリア・日本気体エレクトロニクスとその応用研究会が開催された。この総合研究(A)の代表者および分担者を中心に,日本から32名,オ-ストラリアから14名,アメリカ合衆国から2名,イタリアから1名の合計49名が参加した。これはこの研究組織の大きな成果として特記すべきものである。気体エレクトロニクスの広範なテ-マについて,基礎から種々の応用まで,水準の高い報告が行われ,大成功であった。この国際会議を記念して,参加者のうち19名の執筆になる記念論文集GASEOUS ELECTRONICS AND ITS APPLICATIONS,Edited by R.W.Crompton,M.Hayashi,D.E.Boyd and T.Makabe,KTK Scientific Publishers,Kluwer Academic Publishers,1991,23cm,364頁が出版された。これもこの組織の大きな成果である。
配分された研究費は,備品の他すべての費用に配分され,有効に使用された。それぞれの研究分担者の間で,個々に他大学を訪問しての討論,手紙などによる連絡討論が活発に行われた。
平成3年8月20日から23日まで4日間,岐阜県吉城郡上宝村中尾の京都大学砂防研究所にて,研究代表者,分担者の外,数名の若手研究者に参加いただいて,研究発表・討論会を開催した。熱心な発表が行われ,個々の討論は夜遅くまで続き,多くの成果をあげた。
この研究成果報告書には,この総合研究(A)の補助による成果のオリジナルレポ-トと,学会誌等に発表された論文の一部を収録した。すべて英文とし,250頁余の成果をまとめることが出来た。

  • 研究成果

    (75件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (75件)

  • [文献書誌] M.Hayashi: "Electron collision cross sections of atoms and molecules" Gaseous Electronics and Its Applications,KTK Scientific Publishers. 9-33 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Dote M.Shimada: "Transport Coefficients of Charged Particles in Weakly Ionized Gas Media" Trans.IEE of Japan. Vol.111-A,No.3,. 159-167 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 土手 敏彦: "グロ-放電機構に関する最近の研究" 電気学会論文誌. Vol.111ーA No.3. 363-369 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Dote,M.Shimada: "Swarm Analysis of Phenomena in Weakly Ionized Gases" Gaseous Electronics and Its Applications P.294,ed.P.W.Crompton et al.,KTK Scientific Publishers Tokyo. (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Dote,M.Shimada: "A Constants Ratio Approximation Theory of the Positive Column of a Glow Discharge for the Schottky Model" J.Phys.Soc.Jpn.,. Vol.60,No.2,. 485-497 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] I.Shimamura,T.Fujimoto: "State densities and ionization equilibrium of atoms in dense plasmas" PHYSICAL REVIEW A. 42. 2346-2353 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Fujimoto,R.W.P.McWhirter: "Validity criteria for local thermodynamic equilibrium in plasma spectroscopy" PHYSICAL REVIEW A. 42. 6588-6601 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] S.Matsumoto,K.Shiozawa,Y.Ishitani,A.Hirabayashi,and T.Fujimoto: "Magnetic-field dependence of the collisional disalignment of neon 2p^53P-configuration atoms" PHYSICAL REVIEW A. 44. 4316-4320 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Tachibana,T.Mukai and H.Harima: "Measurement of Absolute Densities and Spatial Distributions of Si and Sill in an RF-Discharge Silane Plasma for the Chemical Vapor Deposition of a-Si:H Films" Jpn.J.Appl.Phys. 30. L1208-L1211 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Yoshizawa,M.Taki,K.Tachibana and S.Moriyama: "Disk-Shaped Vacuum Ultra Violet Light Source Driven by Microwave Discharge for Photoexcited Processes" Appl.Phys.Lett.59. 1678-1680 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 結城 昭正,川原 孝昭,松井 安次,橘 邦英: "SiH_4プラズマCVDにおける膜前駆ラジカル組成に関する研究" 化学工学論文集. 17. 758-767 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 高橋 一夫,橘 邦英: "HeーXe混合ガスにおける電子衝突電離係数および励起係数の測定と解析" 電気学会論文誌A. 111. 182-191 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Tachibana,A.Yuuki and Y.Matsui: "Radical Kinetics in an RF-Discharge Silane Plasma for the Chemical Vapor Deposition of a-Si:H Film" Gaseous Electronics and Its Applications(Kluwe Academic Publishers). 273-293 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Ninomiya,Y.Hirai,A.Momose,S.Aoki,and K.Suzuki: "X-ray Photoelectron Spectroscopy of Micrometer-Size Surface Area Using Synchrotron Radiation" Japanese Journal of Applied Physics. 29. L1026-L1028 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Yokogawa,Y.Yajima,T.Mizutani,S.Nishimatsu,and K.Suzuki: "Positive Charges and E'Centers Formed by Vacuum Ultraviolet Radiation in SiO_2 Grown on Si" Japanese Journal of Applied Physics. 29. 2265-2268 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Yunogami,T.Mizutani,K.Tsujimoto,and K.Suzuki: "Mechanism of Radiation Damage in SiO_2/Si Induced by VUV Photons" Japanese Journal of Applied Physics. 29. 2269-2272 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Ono,S.Hiraoka,and K.Suzuki: "Anisotropic Etching of Heavily Doped Polysilicon by a Hot Cl_2 Molecular Beam" Materials Research Society Symposium Proceedings. 201. 31-36 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Ninomiya,Y.Hirai,A.Momose,S.Aoki.and K.Suzuki: "Microscopic X-ray Photoelectron Spectroscopy Using a Focused Soft X-ray Beam" Journal of Vacuum Science and Technology A. 9. 1244-1247 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Ninomiya,M.Hasegawa,S.Aoki,and K.Suzuki: "Microscopic X-ray Photoelectron Spectroscopy Using A Wolter Type X-ray Mirror" Japanese Journal of Applied Physics. 30. 2889-2894 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] N.Sato and H.Tagashira: "Electron Swarm Parameters in SiH_4/H_2 Mixtures." "Gaseous Electronics and Its Applications",KTK Scientific Publishers/Tokyo,Kluwer Academic Publishers.144-159 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] N.Sato and H.Tagashira: "A Hybrid Monte Carlo/Fluid Model of RF Plasmas in a SiH_4/H_2 Mixture." IEEE Trans.on Plasma Science.19. 102-112 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] N.Sato and Y.Kawashima: "Time- and Space-Resolved Spectroscopy of Pulsed RF Plasmas in Nitrogen." Annual Report of Faculty of Education,Iwate University.51. (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Y.Morishima et al.: "Deexcitation of He(2^1P) in a Collision with a Hydrogen Molecule" Journal of Chemical Physics. 94. 2564-2570 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Yoshida et al.: "Cross Sections for Deexcitation of He(2^3S,2^1S and 2^1P) by SiH_4 and GeH_4" Chemical Physics Letters. 176. 173-177 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Kameta et al.: "Absolute Measurements of Photoabsorption Cross Sections,Photoionization Cross Sections,and Photoionization Quantum Yields of Silane in the 13-40 eV Region" Journal of Chemical Physics. 95. 1456-1460 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] M.Ukai et al.: "Ionizing and Nonionizing Decays of Superexcited Acetylene Molecules in the Extreme-Ultraviolet Region" Journal of Chemical Physics. 95. 4142-4153 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Kameta et al.: "Absolute Measurments of Photoabsorption and Photoionization Cross Sections of Disilane in the 13-40 eV Region" Journal of Chemical Physics. 95. 6188-6189 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Kameta et al.: "Photoabsorption,Photoionization,and Neutral Fragmentation Cross Sections of Superexcited Dimethylether and Ethylmethylether in the Extreme-UV Region" Journal of Chemical Physics.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Yoshida et al.: "Deexcitation cross sections of Ar( ^3P_2, ^3P_1, ^3P_0,and ^1P_1) by CH_4,SiH_4,and GeH_4" Journal of Chemical Physics.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] M.Ukai et al.: "Optical Threshold Excitation Functions of Xe 5s,5p Photoionization Satellite Near the 5s^<-1> Cooper Minimum" Physical Review A.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] M.Ukai et al.: "Deexcitation of Excited Rare Gas Atoms in Metastable and Resonance States as Studied by the Pulse Radiolysis Method" Gaseous Electronics and Its Applications (eds.R.W.Crompton,M.HAYASHI,D.E.BOYD,and T.MAKABE) Kluwer Academic Publ.51-72 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] N.Kouchi et al.: "Angular-Momentum Population of Excited H Atoms Produced by Photodissociation of H_2" Chemical Physics Letters.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Y.Hatano: "Pulse Radiolysis in the Gas Phase" Pulse Radiolysis (ed.Y.Tabata) CRC Press. 199-228 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Y.Hatano et al.: "Fundamental Molecular Parameters in the Gas Phase" Handbook of Radiation Chemistry (eds.Y.Tabata,Y.Ito,and S.Tagawa) CRC press. 187-292 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] M.Ukai et al.: "Synchrotron Radiation Studies of the Dissociation Dynamics of Some Simple Molecules in the Superexcited States" Radiation Research,Proc.9th Int.Congr,Radiat.Res.,Tronto,July 7-12,1991,(eds.,J.D.Chapman,W.c.Dewey,and G.F.Whitmore),Academic Press. 1. 420 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] M.Ukai et al.: "The Role of Shape Resonance in Ionizing and Non-ionizing Decays of Superexcited Acetylene Molecules in the EUV Region" Synchrotron Radiation and Dynamic Phenomena,Proc.of 48th Int.Meeting of Phys.Chem.,Sept.9-13.1991.Grenoble,(ed.C.Troyanowski) AIP.New York.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Y.Morishima et al.: "Optical model calculation of the total Penning ionization cross sections for He(2^1P)-Ar,Kr,and Xe" Journal of Chemical Physics.

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 籏野 嘉彦: "放射光の原理と特徴" 表面科学の基礎と応用、日本表面科学会編、NTS、. 532-535 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 籏野 嘉彦: "分子の光学的振動子強度とその測定" シンクロトロン放射光、学会出版センタ-. 9-28 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 籏野 嘉彦: "パルス励起による化学反応ー放射光時間構造とその利用" シンクロトロン放射光、学会出版センタ-. 119-126 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Makabe and F.Tochikubo N.Nishimura: "Influence of negative ions in RF glow discharges in SiH_4 at 13,56 MHz." Phys.Rev.A. 42. 3674-3677 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] F.Tochikubo,A.Suzuki,S.Kakuta,Y.Terazono and T.Makabe: "Study of the structure in RF glow discharges in SiH_4 by spatiotemporal optical emission spectroscopy." J.Appl.Phys.68. 5532-5539 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] I.Yamanashi,N.Goto and T.Makabe: "Periodic behavior of electron swarm parameters in Ar in an RF field." Trans.IEE of Japan. 111-A. 168-174 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] F.Tochikubo and T.Makabe: "Absolute measurement of the excitation rate and density of the excited species in an RF discharge from the optical emission spectroscopy." Meas.Sci.Technol.2. 1133-1137 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Makabe and N.Nakano,Y.Yamaguchi: "Modeling and diagnostics of structure in RF glow discharges in Ar at 13.56 MHz." Phys.Rev.A. 45. (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] F.Tochikubo,T.Makabe: "Study of the structure in RF glow discharges in CH_4 and H_2 by spatiotemporal optical emission spectroscopy." J.Appl.Phys.71. (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 倉知 正,中村 義春: "Electron Swarm Parameters in SiH4ーRare Gas Mixtures and Collision Cross Sections for Monosilane Molecules." IEEE Trans.on Plasma Science. 19. 262-269 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 中村 義春: "Recent Electron Swarm Studies Using Rare Gas/Molecular Gas Mixtures." In "Gaseous Electronics and Its Applications",Eds.,R.W.Crompton et.al.,KTK Scientific Publications,Tokyo. 178-200 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Sakai and Y.Ichikawa: "Process Technology for a-Si/a-Si Double Stacked Tandem Solar Cells with Stabilized 10% Efficiency" Journal of Non-Crystalline Solids. 137&138. 1155-1160 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Y.Inoue,K.Uchida,H.Hori and T.Sakurai: "Collision Broadening and Shift of D_2 Resonance Line Perturbed by Every Race Gas" J.Phys.Soc.Japan. 59. 516-521 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] T.Sakurai and H.Hori: "Measurement of the Mobility of Excited State Ions in a Discharge Plasma by using a Tunable Diode Laser" Gaseous Electronics and its Applications,R.W.Crompton etal ed.(Kluwer Academic Publishers). 201-212 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 桜井 彪,辰巳 扶二子,堀 裕和,井上 行夫: "エキシマレ-ザ-用容量移行型パルス放電の絶縁破壊" レ-ザ-研究. 19. 1145-1152 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Hori,Y.Ono,A.Watanabe,N.Nakamura,Y.Inoue,and T.Sakurai: "State-specific Mobility of Excited Calcium and Cadmium Ions in a Discharge Plasma Measured by a Tunable Diode Laser" Pyhs.Rev.A. (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] S.Nakajima,Y.Seki and N.Ikuta:"Boltzmann Equation analysis of electrons in weakly ionized SiH_4 gas under RF electric field." Bulletin of Fuculty of Engineering,The university of Tokushima.27. 49-63 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] S.Nakajima,T.Okamoto and N.Ikuta:"Boltzmann equation analysis of position and time dependent velocity distribution of an electron swarm." Trans.IEE Jpn,. 111-A. 139-146 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] N.Ikuta,S.Nakajima,Y.Seki and T.Okamoto: "Boltzmann equation analysis of position and time dependent velocity distribution of electrons." Gaseous Electronics and Its Applications.Edited by R.W.Crompton,M.Hayashi,D.E.Boyd and T.Makabe,KTK Selentifie publishers/Tokyo,Kluwer Academle Publishers. 102-126 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 伊藤 晴雄,生田 信皓: "N_2ガス中における電離電流(V.正特性タウンゼント放電の形成機構)" 電気学会論文誌. 111ーA. 498-499 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 伊藤 晴雄,山梨 浩樹,生田 信皓: "光電子源としての金蒸着膜陰極の膜厚に関する検討" 電気学会論文誌. 111ーA. 498-499 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Kondo and N.Ikuta: "Spatio-temporal gas temperature rise in repetitive positive streamer corona in air." Journal of Physical Society of Japan. Vol.59. 3203-3216 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Kondo and H.Tagashira: "Evolution equation and transport coefficients defined by arrival time spectra of swarms." Journal of Physics D:Applied Physics. Vol.23. 1175-1183 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H.Date,K.Kondo,H.Tagashira: "Transport coefficients defined by arrival time spectra of electron swarms in Krypton gas." Journal of Physics D:Applied Physics. Vol.23. 1384-1389 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Kondo and H.Tagashira: "The two complementary expressions for the evolution of electron and ion swarms in the gas in an electric field" Second Japan-Australia Workshop on Gaseous Electronics and its Application. 101-104 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] M.Hayashi (editor): "Second Australia-Japan Workshop on Gaseous Electronics and Its Applications" 119 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] R.W.Crompton,M.Hayashi,D.E.Boyd and T.Makabe(editor): "Gaseous Electronics and Its Applications" KTK Scientific Publishers, 364 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 橘 邦英(分担執筆)難波 進 編著: "マイクロプロセスハンドブック" 工業調査会, 809 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] S. Matsumoto, K. Shiozawa, Y. Ishitani, A. Hirabayashi, and T. Fujimoto: "Magnetic field dependence of the collisional disalignment of neon 2p^53p-configuration atoms" Physical Review A. 44. 4316-4320 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] K. Tachibana, T. Mukai and H. Harima: "Measurement of absolute densities and spatial distributions of Si and SiH in a RF-discharge silane plasma for the chemical vapor deposition of a-Si : H films" Japanese Journal of Applied Physics. 30. L1208-L1211 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] K. Ninomiya, Y. Hirai, A. Momose, S. Aoki, and K. Suzuki: "Microscopic X-ray photoelectron spectroscopy using a focused soft X-ray beam" Journal of Vacuum Science and Technology. A9. 1244-1247 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] N. Sato and H. Tagashira: "A hybrid Monte Carlo/fluid model of RF plasmas in a SiH_4/H_2 mixture" IEEE Trans. on Plasma Science. 19. 102-112 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Yoshida, Y. Morishima, M. Ukai, K. Shinsaka, N. Kouchi and Y. Hatano: "Cross sections for deexcitation of He(2^3S, 2^1S and 2^1P) by SiH_4 and GeH_4" Chemical Physics Letters. 176(2). 173-177 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] I. Yamanashi, N. Goto and T. Makabe: "Periodic behavior of electron swarm parameters in Ar in an RF field" Trans. IEE of Japan. 111-A. 168-174 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] M. Kurachi and Y. Nakamura: "Electron swarm parameters in SiH_4-rare gas mixtures and collision cross sections for monosilane molecules" IEEE Trans. on Plasma Science. 19. 262-269 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H. Sakai and Y. Ichikawa: "Process technology for a-Si/a-Si double stacked tandem solar cells with stabilized 10 % efficiency" Journal of Non-Crystalline Solids. 137&138. 1155-1160 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] S. Nakajima, Y. Seki and N. Ikuta: "Boltzmann equation analysis of position and time dependent velocity distribution of an electron swarm" Trans. IEE Japan. 111-A. 139-146 (1991)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] K. Kondo and H. Tagashira: "Evolution equation and transport coefficients defined by arrival time spectra of swarms" Journal of Physics D : Applied Physics. 23. 1175-1183 (1990)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

URL: 

公開日: 1993-03-16  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi