| 研究課題/領域番号 |
02453110
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
本多 卓也 東京工業大学, 工学部, 助教授 (10016595)
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| 研究分担者 |
関口 秀俊 東京工業大学, 工学部, 助手 (50226643)
渡辺 隆行 東京工業大学, 工学部, 助手 (40191770)
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| キーワード | 傾斜機能材料 / 超微粒子 / RFプラズマ / シミュレ-ション |
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| 研究概要 |
超微粒子を用いた傾斜機能材料の作製時の問題点としては、傾斜機能材料はバルク材なので作製原料の超微粒子が大量に必要になるのに、超微粒子の表面活性のために壁等への付着が起きること、すなわち回収率が一般に低いこと。組成の傾斜を任意に、スム-ズにすること。超微粒子から集合体にする時の付着力を高めることの3点である。この内の前2点について今年度の重点項目として、アルミニウム金属粒子をアルゴン/酸素プラズマ流での処理することにより検討した。
このため平成二年度のRFアルゴンプラズマの流れ場のシミュレ-ションを利用して、超微粒子作製用の反応管壁等への付着状態を予測し、高回収率が得られるような反応管レイアウトを採用し、反応管壁に沿ってシ-スガスを流した。これにより、35%だった回収率が酸素ガスをシ-スガスとして流すことにより85%に増加させることが出来た。
また、プラズマガスとシ-ズガスに加える酸素ガス量を調整することで、アルミニウムとアルミナの組成比を制御する方法を見い出した。生成してくるアルミナはα、γ、δ、θーアルミナであった。ただしその組成はほぼ一定であって、構造異性体の組成制御までには至っていないが、クエンチングガスとしてプラズマト-チ出口で酸素を半径方向に噴射した場合には、αーアルミナがより多く生成する事実を見出した。したがって、構造制御の可能性の1つが示されたと考える。
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