| 研究課題/領域番号 |
02453110
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
化学工学
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
本多 卓也 東京工業大学, 工学部, 助教授 (10016595)
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| 研究分担者 |
関口 秀俊 東京工業大学, 工学部, 助手 (50226643)
渡辺 隆行 東京工業大学, 工学部, 助手 (40191770)
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| 研究期間 (年度) |
1990 – 1991
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| キーワード | 傾斜機能材料 / 超微粒子 / ア-クプラズマ / RFプラズマ / シミュレ-ション |
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| 研究概要 |
平成2年度は超微粒子生成に関する2つの研究を行なった。1つ目はDCア-ク放電による陽極上に設置した金属(Ti,Al)板の処理による超微粒子生成で、アルゴンガスに反応性ガスとして、窒素、水素を添加した場合の生成物と生成条件の対応を検討した。2つ目はRFアルゴンプラズマを用い、アルミニウム粒子をプラズマガスに添加した酸素ガスと反応してアルミナを生成する過程を液滴の燃焼モデルによる数値計算により検討した。
平成3年度は超微粒子を用いた傾斜機能材料の作製時の問題点の内、回収率が一般に低いことと、組成の傾斜を任意にスム-ズにすることを中心に、アルミニウム金属粒子をアルゴン/酸素RFプラズマ流で処理することにより検討した。前者の問題点については、プラズマの流れ場の数値解析を行なって、超微粒子の反応管壁等への付着状態を予測し、高回収率が得られる反応管レイアウトを採用し、さらに反応管壁に沿ってシ-スガスとして酸素ガスを流すことにより増加させることが出来た。後者の問題点についてはプラズマガスとシ-スガスに加える酸素ガス量を調整することで、アルミニウムとアルミナの組成比を制御する方法を見い出した。生成してくるアルミナはα、γ、δ、θーアルミナであった。ただしその組成はほぼ一定であって、構造異性体の組成制御までには至っていない。
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