研究課題
試験研究(A)
複数の実験結果と数値クリ-ンル-ムの解析結果を比較することで、クリ-ンル-ム、及び給排気チャンバ-内の流れ場、拡散場を総合的に解析するデザインツ-ルとしての数値クリ-ンル-ムを開発した。この数値クリ-ンル-ムは乱流数値シミュレ-ションに基づく、流れ場、拡散場の総合解析システムであり、その原形の作成は平成2年度に完了している。数値クリ-ンル-ムには、室内の給排気口の位置、流量、圧力の変化、また、室の大スケ-ルの気流障害物である製造装置、作業員等から、床グレ-チング、多孔板、装置の微小なでこぼこ等の小スケ-ルの気流障害物、また発熱体、吸熱体等、およそ流れ場に影響を与えると思われるもの全てを取り込んで流れ場をシミュレ-トする能力を持たせている。また、流れ場に対応して汚染質の拡散性状をシミュレ-トするほか、総合的な換気の効率を本研究グル-プが開発した換気効率指標により評価した。これにより汚染質拡散を制御するための最適な気流制御並びに汚染制御の観点から最適な製造ライン配置決定システムの構築を図った。2年間の研究で、(1)これまで個々に開発してきた各手法を総合的にとりまとめ、クリ-ンル-ム内の流れ場、拡散場を対象とする総合シミュレ-ションシステムを作成した。(2)開発したシミュレ-ションシステムを実験、計測結果と比較対応し、その有効性、精度を検証した。(3)クリ-ンル-ム内の換気性状を換気効率指標により評価し、最適な製造ライン配置を定めるシステムを開発した。
すべて その他
すべて 文献書誌 (20件)
