| 研究分担者 |
横川 宗彦 東京都立大学, 工学部, 助手 (10191496)
佐久間 秀夫 東京都立大学, 工学部, 助手 (20128573)
吉葉 正行 東京都立大学, 工学部, 助教授 (30094288)
諸貫 信行 東京都立大学, 工学部, 助教授 (90166463)
渡辺 敦 東京都立大学, 工学部, 教授 (70167104)
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| 研究概要 |
真空環境用の直線運動機構として,高負荷容量(数百N),長ストロ-ク(数m),かつ高精度(μmオ-ダ)なものを実現するための基礎設計技術の確立を目的とし,本年度は試験装置の試作と基礎的な調査を行った。
試作した装置は直径400mm×長さ1000mmの大きさで,種々の条件でのしゅう動実験を行いながら,そのときのしゅう動摩擦などを測定できるようになっている.設定条件として,1)真空度10^<-4>〜5×10^<-9>Torr,2)しゅう動速度:1〜15cm/sで連続可変,3)接触面圧:未定(おもりによる死荷重で調整)等がある.なお,しゅう動体はワイヤで引っ張られて駆動されるが,ワイヤを巻き取るプ-リ軸と大気中のモ-タ軸は正確な運動を伝達するために直結され,磁性流体で真空のシ-ルが行われている.
測定項目として以下がある.1)しゅう動低抗:上記モ-タ軸の伝達トルクを測定,2)しゅう動体の移動距離および姿勢変化:レ-ザ測長器を用いてしゅう動体の移動距離を2ヶ所で測定し,しゅう動体位置と角度変化(ピッチング,ヨ-イング)を求める.これと容量型変位計の測定結果をあわせてロ-リング,真直度などを求める.3)しゅう動部近傍の温度変化:熱電対で測定.4)摩耗量の測定:形状測定あるいは質量測定.5)摩耗部分の顕微鏡観察.
しゅう動特性の評価対象材料として,1)金属:ステンレス他,2)セラミックス:高純度アルミナ他,3)有機材料:テフロン他(低真空度のみ)を考えた.テストピ-スの寸法は幾つかを検討中で,予備実験を進めながら決定する.ガイドレ-ル材質は,1)ステンレス,2)セラミックスの2種類とする.
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