| 研究分担者 |
横川 宗彦 東京都立大学, 工学部, 助手 (10191496)
佐久間 秀夫 東京都立大学, 工学部, 助手 (20128573)
吉葉 正行 東京都立大学, 工学部, 助教授 (30094288)
諸貫 信行 東京都立大学, 工学部, 助教授 (90166463)
渡辺 敦 東京都立大学, 工学部, 教授 (70167104)
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| 研究概要 |
真空環境用の直線運動機構として,高負荷容量(数百N),長ストロ-ク(数m),かつ高精度(μmオ-ダ)なものを実現するための基礎設計技術の確立を目的とし,部材形状精度に関する実験と簡単なしゅう動実験を行った.
高精度な運動を実現するためには,これを支持する部材の形状精度が確保されなければならない.そこで,板材(長さ205mm,幅80mm,厚さ10mm,25mm)が真空環境でどのように変形するかを測定した.測定にはオ-トコリメ-タを用い,2端での相対角変位を測った.実験は約18時間の排気(到達真空度10^<-4>Pa)と6時間の大気圧開放を1サイクルとし,これを3サイクル繰り返した.その結果,時定数が数10時間というゆっくりとした曲げ変形が生じていることがわかった.この原因を分析してみたところ排気ポンプの熱が伝わったものと考えられるが,真空中では対流熱伝達がないため,わずかの熱が大きな変形を引き起こしていることがわかった.
ついで,真空中でのしゅう動実験を行った.レ-ルにはアルミナセラミックスを用い,これの上をワイヤ駆動によりステンレスおよびアルミナセラミックスの板材をしゅう動させ(2〜60mm/s,ストロ-ク230mm),このときのしゅう動摩擦を測定した.その結果,真空度の上昇に伴って摩擦係数が増加し,さらにストロ-ク中での摩擦係数の変動も大きくなることがわかった.
次年度の研究では,レ-ザ測長システムを用いてスライダ運動中の姿勢変化を測定し,設計の指針確立を図る予定である.
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