| 研究課題/領域番号 |
02555033
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| 研究機関 | 長岡技術科学大学 |
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研究代表者 |
高田 孝次 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (80126474)
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| 研究分担者 |
柳 和久 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (80108216)
弘津 禎彦 長岡技術科学大学, 工学部, 助教授 (70016525)
久曽神 煌 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (20016661)
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| キーワード | リニアスケ-ル / 結晶格子 / STM / ナノテクノロジ- |
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| 研究概要 |
平成2年度は本研究の初年度であることから、研究内容を基礎的な3項目に集約して実施した。
(1)<スケ-ル用単結晶に関する研究>___ー:グラファイト単結晶上に特殊な方法で金を蒸着することにより、空気中で安定な良質のスケ-ル用結晶を製作出来た。この手法によればXーY二次元スケ-ルの製作も可能である。未だスケ-ルの大きさは十分でないが、このことにより、本研究の最も重要な課題の克服に明るい見通しが得られた。
(2)<超精密直動機構の研究>___ー:先ず、現在多用されているチュ-ブ型PZT素子を用いたスキャニング機構を検討したが、動作範囲、位置決めの再現性などに難点があり本研究の目的には適さないことが判明した。次いで、並行バネを基本とする直動機構の詳細な解析と実験を行ない、この方式が利用可能であることを確認し、設計を行なった。同時に、バイモルフ型ピエゾ素子を用いた粗動機構についても検討を行なった。
(3)<STM制御モ-ドの検討>___ー:定電流モ-ドと可変電流モ-ドを比較検討した結果、本研究の場合においては機能的には大差がないことが確認されたので、今後は前者によることとした。この検討を通じてSTMの操作に習熟でき、かつ、実験環境も整備された。
以上のように、本年度の研究目標はおおむね達成できた。これにより,来年度は直ちにプロトタイプの製作に入ることができる。
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