| 研究課題/領域番号 |
02555083
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
計測・制御工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
中鉢 憲賢 東北大学, 工学部, 教授 (20006224)
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| 研究分担者 |
篠崎 行啓 中央精機(株), 営業部, 課長
菅沼 亮介 本多電子(株), 産業機器事業部, 課長
三野宮 利男 東北大学, 工学部, 教務職員 (40222418)
櫛引 淳一 東北大学, 工学部, 助教授 (50108578)
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| 研究期間 (年度) |
1990 – 1992
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| キーワード | 方向性超音波顕微鏡 / 方向性PFB超音波プローブ / 画像計測 / 定量計測 / 漏洩弾性表面波 / V(z)曲線解析法 / 異方性試料 / Mn-Znフェライト多結晶 |
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| 研究概要 |
本研究においては、高い空間分解能と方向性を持ち、画像計測と定量計測の両機能を兼ね備えた新しい「方向性超音波顕微鏡」システムとその計測法を開拓した。
1.高分解能と方向性を実現するため、通常の点集束ビーム(PFB)超音波プローブにおける円形トランスジューサを長方形にし、計測に関与する漏洩弾性表面波(LSAW)の励振・検出を狭い角度範囲内に制限することによって方向性を導入した200-400MHz帯の方向性PFB超音波プローブを開発した。
2.異方性試料に対してV(z)曲線解析法によるLSAWの伝搬特性を測定する場合に、異方性によるLSAWのビームステアリング効果がトランスジューサ出力に及ぼす影響を考慮することが本質であることを見いだし、レンズロッド長を短くするとともにV(z)曲線の解析区間を焦点近傍の狭い範囲に制限するなど、動作原理に基づく計測・データ処理法を開拓した。
3.ミクロな部分の材料の特性を形態的、定量的に解析するためには観測される超音波画像の視野中に於いて任意の測定位置を選び出すとともにLSAWの伝搬方向を任意に変化させることが必要で、そのための機械走査系と制御系を開発し実験手順を確立した。
4.試料としてMn-Znフェライト多結晶材料をとりあげ、LSAWの伝搬方向を任意に変えた場合の画像計測とV(z)曲線解析法による定量計測を行い、微小領域の弾性的異方性の測定に対する本システムの有用性を実証した。
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