化学気相析出法(CVD)による酸化物高温超伝導体の線材化

1990 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 02555146
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 平井 敏雄 東北大学, 金属材料研究所, 教授 (50005865)
• 研究分担者: 大森 守 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (30005954) ; 増本 博 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (50209459) ; 佐々木 眞 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (70187128) ; 山根 久典 東北大学, 金属材料研究所, 助手 (20191364)
• キーワード: 酸化物高温超伝導体 / 線材化 / 化学気相析出法 / 多結晶基板 / 超伝導転移温度 / 臨界電流密度

研究概要

1.YBCO膜の大面積化や線材化には、大面積の基体やテ-プ状、線形状の基板が必要で、これらを単結晶で作製することは難しい。このため、大面積基板や線状基板の作製が容易な多結晶基板上への高Tc、高Jc膜の合成が期待されている。本研究では、化学気相析出(CVD)法により析出温度650ー900℃でYSZ,MgOおよびAl_2O_3の多結晶基板上にYBCO膜の合成を行い、得られた膜の結晶配向性、膜組織およびTcやJcS磁場中での超伝導特性を調べた。
2.CVD原料には、Ba、YおよびCuのβージケトン金属錯体を用いた。基板には鏡面研磨した8mol%Y_2O_3安定化ZrO_2(YSZ)、MgOおよびAl_2O_3の多結晶基板(10×5×1mm^3)を使用した。析出温度650〜900℃で成膜を行った。析出時間は1時間とした。析出終了後、inーsitu酸素処理を行った。
3.650℃から900℃で各基板上に析出した膜の厚さはほとんど変化がなく、ほぼ1μmであった。YSZおよびMgO基板上に800℃以上で得られた膜は、主にc軸が基板に垂直に配向したYBa_2Cu_3O_yから構成されていた。Al_2O_3上に作製された膜においては、析出温度850℃でBaAl_2O_4のピ-クが認められ、基板と膜が反応することが明らかになった。
最もTc(R=0)の高かった膜は、YSZ、MgO上では、850℃で析出したもの、Al_2O_3上では800℃で析出したものであった。YSZ基板上の膜でTc(R=0)は90K、MgO上の膜で87K、Al_2O_3上で71Kであった。YSZおよびMgO上の試料について77.3K、0TでのJcはYSZとMgOの多結晶基板上の膜でそれぞれ8.6×10^3と1.0×10^4 A/cm^2であった。15TにおいてもMgO上およびYSZ上の膜でそれぞれ27と44A/cm^2のJcが測定された。今後、多結晶基板上のCVD膜を長尺線材などの実用に結び付けるためにJcの値をより一層単結晶基板上の膜の値に近づける必要があり、YBCOの結晶配向性の制御に関する研究が重要と考えられる。

研究成果

• [文献書誌] 山根 久典,平井 敏雄: "CVDー酸化物高温超伝導膜の研究" 日本金属学会会報. 29. 744-748 (1990)
• [文献書誌] K.Watanabe,H.Yamane,H.Kurosawa,T.Hirai,Y.Kobayashi,H.Kawabe and Y.Muto: "Route to HighーJc for YBaCuO Films" Proceedings of the Second ISTEC Workshop on Superconductivity,May 28ー30,1990 Kagoshima,. 60-63 (1990)
• [文献書誌] T.Hirai and H.Yamane: "MOCVD Superconducting Oxide Films" J.Crystal Growth,. 107. 683-691 (1991)
• [文献書誌] N.Kobayashi,K.Miyoshi,H.Kawabe,K.Watanabe,H.Yamane,H.Kurosawa,T.Hirai and Y.Muto: "Correlation between Magnetic Relaxation and Jc of YBa_2Cu_3O_7 Films" Physica B. 165ー166. 1133-1134 (1990)
• [文献書誌] N.Kobayashi,H.Kawabe,K.Watanabe,S.Awaji,H.Yamane,H.Kurosawa,T.Hirai and Y.Muto: "Angular Dependence of Critical Current Density of YBa_2Cu_3O_7ー^δ Films in Fields" Supercond.Sci.Technol.4. S328-330 (1991)
• [文献書誌] H.Yamane,H.Kurosawa,T.Hirai,K.Watanabe,N.Kobayashi and Y.Muto: "YーBaーCuーO Superconducting Films Prepared on SrTiO_3(100) by CVD and their High Jc in Magnetic Field." Proceedings of the eleventh International Conference on ChemicalVapor Deposition 1990 (CVDーXI) edited by K.E.Spear andG.W.Cullen,Octorber 14ー19,(1990) Seatle,. 222-228 (1990)
• [文献書誌] Y.Muto,K.Watanabe,N.Kobayashi,H.Yamane and T.Hirai: "Critical Current in High Magnetic Field of YーBaーCu Oxide Films Prepared by CVD Method" Proceedings of the Conference on the Science and Technology of Thin Film Superconductors April 30ーMay 4,1990 Denver,Colorado,.
• [文献書誌] K.Watanabe,N.Kobayashi,H.Yamane,T.Hirai,Y.Muto,H.Kawabe and H.Kurosawa: "Critical Current and Flux Pinning in Y_1Ba_2Cu_3O_7ーδ Films Preparedby Chemical Vapor Deposition" Proceedings of ICMC'90 Topical Conference,HighーTemperature SuperconuctorsーMaterials Aspects May 9ー11,1990 GarmischーPartenkirchen,.
• [文献書誌] H.Yamane,M.Hasei,T.Hirai,K.Watanabe,N.Kobayashi,H.Kurosawa and Y.Muto: "Preparation of aーAxis and cーAxis Oriented YーBaーCuーO Superconducting Oxide Films by CVD" Proceedings of Third International Symposium on Superconductivity November 6ー9,1990,Sendai,Miyagi Prefecture,.
• [文献書誌] K.Watanabe,S.Awaji,N.Kobayahi,H.Yamane,T.Hirai and Y.Muto: "Flux Pinning in CVD Processed YBaCuO Film" Proceedings of Third International Symposium on Superconductivity,November 6ー9,1990,Sendai,Miyagi Prefecture,.
• [文献書誌] H.Yamane,T.Hirai,K.Watanabe,N.Kobayashi,Y.Muto,M.Hasei and H.Kurosawa: "Preparation of a HighーJc YーBaーCuーO film at 700℃ by Themal Chemical Vapor Deposition" J.Phys.Lett.,.
• [文献書誌] H.Suzuki,H.Kurosawa,K.Miyagawa,Y.Hirotsu,M Era,T.Yamashita,H.Yamane and T.Hirai: "Thin Film Stucture of YBa_2Cu_3O_7ーδ on (001) MgO substrate Studied by TEM" Jpn.J.Appl.Phys.,. 29. L1648-1651 (1990)
• [文献書誌] 黒沢 秀行,平井 敏雄,山下 努,新技術事業団監修: "高温超電導の応用 16章 CVD酸化物超電薄膜の応用" 丸善株式会社, 240-253 (1990)