1991 年度実績報告書

超精密三結晶トポグラフィック・カメラの開発研究

研究課題

研究課題/領域番号	02558012
研究機関	東京大学
研究代表者	石川哲也東京大学, 工学部, 助教授 (80159699)
研究分担者	平野馨一東京大学, 工学部, 助手 (40218798)
キーワード	超精密三結晶トポグラフィック・カメラ / 三結晶調整機構 / 三結晶コリメ-タ / 動力学的回折 / 運動学的回折像 / 人工多層膜 / 非対称アナライザ結晶
研究概要	本年度は、前年度に行われた総合的動作試験の結果を踏まえて、ハ-ドウェア、ソフトウェアの必要な改造を行い、超精密三結晶トポグラフィック・カメラを単体として完成させた。また調整用治具、スリット等の光学部品の整備を行い、環境温度制御及び放射線防御のための遮蔽囲いを製作した。これによって、実験室環境でもル-チン的なデ-タ収集が可能なシステムとなった。入射X線束の超精密化のための二結晶調整機構を開発し、三結晶カメラの第一ゴニオメ-タ上で二結晶光学素子の調整を可能とした。また、このような二結晶コリメ-タを用いることによって、試料及びアナライザ結晶が搭載される第二ゴニオメ-タの位置調整が極めて小範囲の平行移動によって行い得るようになり、全体としての位置決め精度が大幅に向上した。三結晶トポグラフの像形成理論を検討し、動力学的回折をマスクすることによって運動学的回折像のみが捉えられることを明らかにするとともに、理論計算と実験デ-タの比較を行うために、スキャナ-によって実験デ-タをデジタイズし理論値と比較するシステムを作成した。この上で光学系の自動調整及びデ-タ収集の自動化のためのソフトウェア開発を行い、装置全体を実用機として完成させた。装置の性能試験を兼ねて三結晶トポグラフィの人工多層膜の完全性研究への応用を検討し、また実際に実験を行って、非対称アナライザ結晶を用いて多層膜からの回折X線を拡大することによって、空間的な非一様性を十分な空間的分解能で捉え得ることを示した。

研究成果
(6件)

すべてその他

すべて文献書誌 (6件)

[文献書誌] S.Kawado,S.Kojima,I.Maekawa and T.Ishikawa: "Influence of Crystal Imperfection on High-Resolution Diflraction Profiles of Silicon Single Crystals Measured by Highly Collimated X-Ray Beams" Appl.Phys.Lett.58. 2246-2248 (1991)
[文献書誌] T.Ishikawa,K.Hirano and S.Kikuta: "Applications of the Perfect Crystal X-Ray Optics" Nud.Instrum.Methods. A308. 356-362 (1991)
[文献書誌] S.Kawado,S.Kojima,I.Maekawa and T.Ishikawa: "Growth Striations in MCZ Silicon Obserued by Synchrotron X-Ray Dittraction Topography" Proc.Symposium on Aduanced Science and Technology of Silicon Materials. 195-200 (1991)
[文献書誌] T.Kitano,T.Ishikawa,J.Mizuki and J.Matsui: "Contrast Formation Mechanism in X-Ray Topography under the Condition of Simultaneous Spowlar and Bragg Reflections" Phil.Mag.Lett.
[文献書誌] S.Kimura,T.Ishikawa,J.Mizuki and J.Matsui: "Analysis of Minute Strain Fields around A-Swirl Defects in a FZ Silicon Crystal by Means of Plane Wave X-Ray Topography Using Extremely Collimated X-Rays" J.Cryst.Growth.116. 22-26 (1992)
[文献書誌] T.Ishikawa and K.Kohra: "Chupter 3.Pertect Crystal Methods,pp63-104 in:Handbook on Synchrofron Radiation,Vol.3" North-Holland(Amsterdam), 42 (1991)

1991 年度 実績報告書

超精密三結晶トポグラフィック・カメラの開発研究

研究代表者

石川 哲也 東京大学, 工学部, 助教授 (80159699)

研究成果

[文献書誌] S.Kawado,S.Kojima,I.Maekawa and T.Ishikawa: "Influence of Crystal Imperfection on High-Resolution Diflraction Profiles of Silicon Single Crystals Measured by Highly Collimated X-Ray Beams" Appl.Phys.Lett.58. 2246-2248 (1991)

[文献書誌] T.Ishikawa,K.Hirano and S.Kikuta: "Applications of the Perfect Crystal X-Ray Optics" Nud.Instrum.Methods. A308. 356-362 (1991)

[文献書誌] S.Kawado,S.Kojima,I.Maekawa and T.Ishikawa: "Growth Striations in MCZ Silicon Obserued by Synchrotron X-Ray Dittraction Topography" Proc.Symposium on Aduanced Science and Technology of Silicon Materials. 195-200 (1991)

[文献書誌] T.Kitano,T.Ishikawa,J.Mizuki and J.Matsui: "Contrast Formation Mechanism in X-Ray Topography under the Condition of Simultaneous Spowlar and Bragg Reflections" Phil.Mag.Lett.

[文献書誌] S.Kimura,T.Ishikawa,J.Mizuki and J.Matsui: "Analysis of Minute Strain Fields around A-Swirl Defects in a FZ Silicon Crystal by Means of Plane Wave X-Ray Topography Using Extremely Collimated X-Rays" J.Cryst.Growth.116. 22-26 (1992)

[文献書誌] T.Ishikawa and K.Kohra: "Chupter 3.Pertect Crystal Methods,pp63-104 in:Handbook on Synchrofron Radiation,Vol.3" North-Holland(Amsterdam), 42 (1991)

1991 年度実績報告書

石川哲也東京大学, 工学部, 助教授 (80159699)