光電子分光法による半導体ヘテロ接合バンド不連続量に与える界面双極子効果の解明

1990 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 02650003
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 平川 一彦 東京大学, 生産技術研究所, 助教授 (10183097)
• 研究分担者: 栗原 由紀子 東京大学, 生産技術研究所, 助手 (90013200) ; 斎藤 敏夫 東京大学, 生産技術研究所, 助手 (90170513) ; 生駒 俊明 東京大学, 生産技術研究所, 教授 (80013118)
• キーワード: 分子線エピタキシ- / 半導体ヘテロ接合 / ヘテロ接合バンド不連続 / X線光電子分光法

研究概要

分子線エピタキシ-法に代表される最近の優れた結晶成長技術の発展により、冶金学的意味において1原子レベルで急峻な半導体ヘテロ接合を作製することが可能になった。しかし、異なる2つの物質を接合し、急峻なヘテロ接合を作製しても、電子構造は局所的に擾乱を受け、遷移領域が形成されるはずである。本研究では、X線光電子分光法(XPS)を用いて、ヘテロ界面極近傍の局所的な価電子分布、およびそれに起因する静電ポテンシャルの詳細を検討し、ヘテロ界面には界面双極子が存在すること、また電子構造の遷移領域がどの程度の厚さであるかを明らかにした。
局所的な電荷分布の情報を得るために用いた試料は、分子線エピタキシ-法により作製したAlAs/d原子層GaAs/AlAsダブルへテロ(DH)構造、および逆のGaAs/d原子層AlAs/GaAs DH構造である。挿入した層の厚さdを系統的に変化させながら、Ga3d軌道とAl2p軌道のエネルギ-差をinーsituXPS法を用いて測定することにより、Ga3dおよびAl2p軌道の束縛エネルギ-をヘテロ界面からの距離の関数として、詳細に検討することができる。その結果、Ga3d軌道の内殻準位は、ヘテロ界面の極近傍ではバルクGaAs中のそれより約0.1eV深くなっていること、逆にAl2p軌道は約0.1eVだけ浅くなっていることが初めて明らかになった。このことは、GaAs/AlAsヘテロ界面には、数百meV程度の界面双極子が存在することを示している。
さらに、簡単な静電ポテンシャルの計算値とのフィッティングより、価電子分布の遷移領域が、従来理論的に予測されていたよりも厚く、少なくとも約4原子層の厚さ(〜11オングストロ-ム)に及ぶことが明らかになった。

研究成果

• [文献書誌] K.Hirakawa,Y.Hashimoto,and T.Ikoma: "Orientation independence of heterojunctionーband offsets at GaAsーAlAs heterointerfaces characterized by xーray photoemission spectroscopy" Applied Physics Letters. 57. 2555-2557 (1990)
• [文献書誌] Y.Hashimoto,K.Hirakawa,K.Harada and T.Ikoma: "Strain induced change in band offsets at pseudomorphically grown InAs/GaAs heterointerfaces characterized by xーray photoelectron spectroscopy" Surface Science.
• [文献書誌] Y.Hashimoto,K.Hirakawa,and T.Ikoma: "Microscopic charge distributions at GaAs/AlAs heterointerfaees characterized by xーray photoelectron spectroscopy" Proceedings of the 17th International Symposium on Gallium Arsenide and Related Compounds.
• [文献書誌] K.Hirakawa,Y.Hashimoto,and T.Ikoma: "Transient of electrostatic potential at GaAs/AlAs heterointerfaces characterized by xーray photoemission spectroscopy" Proceedings of SPIE's International Conference on physical Concepts of Materials for Novel Optoelectronic DEvice Applications.
• [文献書誌] M.Noguchi,K.Hirakawa,and T.Ikoma: "Coupled surface phonons and plasmons in electron accumulation layer on intrisic InAs (100) reconstructed surfaces grown by MBE" Proceedings of the 20th International Conference on the Physics of Semiconductors. 219-222 (1990)
• [文献書誌] M.Noguchi,K.Hirakawa,and T.Ikoma: "Intrinsic electron accumulation layers on reconstructed clean InAs (100) surfaces" Physical Review Letters.