| 研究概要 |
1.被測定体にレ-ザビ-ムを照射してその反射像を得る場合,被測定体に固定した座標系,測定機およびレ-ザビ-ムなど光学系の座標系,さらに,映像管の座標系との間にどのような関係が存在するかを数値解析を行なうことにより明らかにした.
2.ついで,映像管に写し出された歪んだ像面から,被測定面の形状精度の判定に必要な規則だった形状への変換方法,誤差精度の換算倍率の決定方法などの究明した.
3.計算処理をしやすい被測定体として,格子状溝を有する平面および円筒面を,さらに,複雑な形状でありながらそれが幾何学的に数式で表示可能であり,しかも,重要な機械部品である歯車を対象とし,それらの試験片をもちいて実験を行い,得られる像がシミュレ-ション結果とよく対応することを確認した.また,歯車については斜入射ホログラフィ干渉の実験を行い,前述の解析法を適用して得られた歯面誤差が,従来の測定子を利用した接触式測定法による測定結果とよい精度で一致し,本測定法の有効性を確認した.
しかし,はすば歯車の場合,歯面上の法線の向きが広範囲にわたり,歯面の測定領域に限界が存在することが実験結果により明かとなって,測定上の問題点が実験的に示された.
4.誤差のきわめて小さい歯面を参照面として,誤差を有する歯面を測定対象とした場合,ホログラフィ法ではかならずしも高精度な測定結果を得ることが困難と考え,測定面と相対的に近い歯面を参照面としての誤差測定方法についても解析プログラムの開発を進め,ほぼ完成させた.さらに,このような考えに基づき,一部の歯車について実験的に検証を行った.
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