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本年度は、外乱による壁面からの微粒子の飛散現象を積極的に利用して、微粒子の付着したウエハから粒子を飛散させ清浄な表面を得る乾式洗浄技術について検討した。管内での微粒子の気流による飛散を検討した昨年度までの研究により、気流に急激な速度変動が生じると粒子が飛散することが明らかになった。そこで、この急激な気流の速度変化に伴う微粒子の飛散現象に着目し、電磁弁を通して圧縮空気をノズルより噴出させてパルスジェットを作り、このパルスジェットを繰り返し表面に当てることによって粒子を飛散させ表面洗浄を行なった。ノズルは洗浄領域が広くとれる矩形を用い、飛散率はエアジェットが衝突して最も清浄な表面が得られる領域( 1.5mm×4mm)でジェット噴射前後の粒子を計数して求めた。以下に、得られた結果を示す。
1.エアジェットによる粒子の飛散は、エアジェットを噴射したほぼ瞬間に起こり、その後ジェットを噴射し続けても飛散率はほとんど変化しない。
2.パルスエアジェットによる粒子の飛散率は、パルスジェット噴射回数が増加するにつれて大きくなり、0.25μmとかなり微小な粒子でも噴射回数を多くすればほぼ完全にウエハ表面から除去できる。
3.表面にパルスエアジェットを繰り返し噴射した場合、パルス1回あたりの飛散率、すなわち、ジェット噴射前後の付着粒子数の比は、ジェットの噴射回数によらず常に一定に保たれる。
4.パルスエアジェットによる粒子の飛散は、ジェット気流を噴射した際に生じる圧力波の立ち上がりに大きく依存する。したがって、飛散率を大きくするためには、ノズル形状を工夫して急峻な圧力の立ち上がりをもつエアジェットを作る必要がある。
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