X線結像光学系評価法

1991 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 03217103
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 佐藤 繁 東北大学, 理学部, 教授 (10005796)
• 研究分担者: 三谷 七郎 大阪市立大学, 工学部, 助教授 (60046886) ; 小川原 嘉明 宇宙科学研究所, 宇宙圏研究系, 教授 (80013671) ; 宮原 垣あき 高エネルギー物理学研究所, 放射光施設, 教授 (00106600) ; 太田 俊明 広島大学, 理学部, 教授 (80011675) ; 渡辺 誠 分子科学研究所, 極端紫外光施設, 助教授 (00025397)
• キーワード: 一様感度光電子増倍管 / 疑似ボダ-ル型軟X線高純度単色計 / 多層膜・回折格子の効率 / レ-ザ-プラズマX線源 / 高精度軟X線定在波法 / プラズマ検出器の較正 / 三次元曲面形状評価 / 光ヘテロダイン干渉計

研究概要

本研究の内容は,既存の各種の光学計測装置を改造整備し種々の光学素子の特性評価に対応出来るようにすること(三谷,前沢,渡辺,小川原,加藤,宮原,太田),及び大曲率非球面鏡の三次元形状評価法(佐藤,東)の2項目に大別される。前者について,軟X線光学素子性能評価装置(三谷)ではコントロ-ル系の整備強化と偏光依存性の無い一様感度分布光電陰極の開発を行った。同装置用軟X線高純度単色計として疑似ボダ-ル型式分光器を最適化設計,製作(制御プログラムの作成と総合動作試験を行なった(前沢)。上の二つの装置は平成4年度PFに新設される準専用ビ-ムラインBLー12Aに設置される。プラズマ機器較正用ビ-ムライン(渡辺,桜井)では多層膜ミラ-の反射率,回折格子の効率を評価し,検出器(MCP等)の感度を較正した。また軟X線分光器を製作しUVSOR,BLー1Aに装置した。宇宙研平行X線源(小川原,紀伊)では装置を駒場から相模原に移設し調整試験,較正後全長36mのビ-ムラインとして完成しASTROーD衛星塔載用X線望遠鏡の評価を行なった。レ-ザ-プラズマX線源(加藤)ではW,Au,Pb,BiからのプラズマX線を定量測定し平均イオン模型を改良して発光スペクトルの理論解析を行なった。光電子放出による表面界面の評価(宮原)では表面粗さの異なる二つの試料についてAuの価電子帯,N_<6.7>線,非3単性散乱光電子スペクトルを測定しスペクトルと粗さの相関を明らかにした。表面EXAFS,X線定在波法による表面界面の評価(太田)では最適化した超高真空測定装置を作成しアンジュレ-タ-ビ-ムラインBLー2A(PF)でS,Clを吸着させたNi単結晶表面の高精度軟X線定在波の実験を行った。
三次元曲面形状評価法(佐藤,東)では,口径100mmのサンプルミラ-の曲率を分割及び一括測定できる光ヘテロダイン干渉計の実機を製作し分割測定とそれらを合成した全体形状復元の精度の検討を行ない,十分実用的であることを確めた。

研究成果

• [文献書誌] M.Sakurai: "Sensitivity calibration of surface barrier diodes for soft X-ray observation of plasma" Review of Scientific Instruments. 63. 832-836 (1992)
• [文献書誌] E.Ishiguro: "Fabrication and characterzation of reactive ion beam etched SiC gratings" Review of Scientific Instruments. 63. 1439-1442 (1992)
• [文献書誌] A.Hiraya: "Construction of focusing soft X-ray beamline BLIA at the UVSOR" Review of Scientific Instruments. 63. 1264-1268 (1992)
• [文献書誌] Y.Takata: "Thiophenol adsorption on Ni(100)studied by S K-edge SEXAFS and XANES" Surface Science. 259. 266-274 (1991)
• [文献書誌] Y.Takata: "Site selective adsorption of Cl atoms on Ni(111)studied by back reflection X-ray standing wave method" Surface Science. 260. (1992)
• [文献書誌] 太田 俊明: "軟X線定在波法による金属表面吸着構造の解析" 表面科学. 13. 26-32 (1992)
• [文献書誌] Y.Takata: "Back-reflection X-ray Standing wave method applied to the structure analysis of adsorbates on metal surface" J.Science of the Hiroshima University. 56.
• [文献書誌] T.Miyahara: "Correlation between phatoelectron spectra and surface roughness" Nucl.Instrum.Methods.
• [文献書誌] Y.Kagoshima: "Present status and future plan of soft-X ray mecroscopy at the Photan factory" Review of Scientific Instruments. 63. 605-608 (1992)
• [文献書誌] 三谷 七郎: "PF光学素子性能評価装置" 平成3年度科研費重点領域研究「X線結像光学」第3回公開シンポジウム講演資料集. 206-209 (1992)
• [文献書誌] Y.Muramatsu: "A 2-m grazing incidence monochromator with a silicon-carbide-besed master groting" Review of Scientific Instruments. 63. 1305-1308 (1992)
• [文献書誌] T.Kita: "High-temperature diffraction gratings for Synchrotron radiation" Review of Scientific Instruments. 6o. 1424-1427 (1992)
• [文献書誌] 伊藤 真之: "宇宙研平行X線光源" 平成3年度文部省科研費重点領域研究「X線結像光学」第3回公開シンポジウム講演資料集. 223-226 (1992)
• [文献書誌] H.Azuma: "Single-shot measurement of spectral reflectance of a soft x-ray multilayer mirror using a laser-plasma X-ray source" Jpn.J.Appl,Phys.31. L203-L205 (1992)
• [文献書誌] K.Murai: "Nーshell emission of W,Au,Pb and Bi ions in the 10ー60 A^^ﾟ range recorded from Gekko MII laser produced plasmas" ILE Research Report,No 9103P Institute of Laser Engineering,Osaka University. 1-20 (1992)
• [文献書誌] S.Sato: "A surface-profile measuring system for synchrotron radiation mirrors" Review of Scientific Instruments. 63. 1490-1493 (1992)
• [文献書誌] 佐藤 繁: "SRIー91(第4回放射光装置技術国際会議)報告VUV分野の研究の現状" 放射光. 4. 84-86 (1991)
• [文献書誌] Y.Takata: "Xーray Absoption Fine Structure(分担執筆) (Soft xーray standing wave absorption profiles of c(2x2)S/Ni(100))" Ellis Horwood,New York, 254-256 (1991)
• [文献書誌] T.Ohta: "Xーray Absorption Fine Structure(分担執筆)(Surfac relaxation of S and Cl adsorbed metals studied by surface EXAFS and the soft Xーray standing wave method)" Ellis Horwood,New York, 248-253 (1991)
• [文献書誌] 佐藤 繁 他「X線結像光学系評価法」分担者: "重点領域研究「X線結像光学」第12回研究会講演資料集第5班:X線結像光学系評価法" 重点領域研究「X線結像光学」総括班, 57 (1991)