| 研究概要 |
本研究は機能性複合酸化物の薄膜を作製する新しい方法である水熱電気化学法の確立を目ざしたものであり、以下の成果が得られている。
1)金属チタンを100℃以上のBa(OH)_2溶液中で通電処理するチタン基板上にBaTiO_3の薄膜が生成する。
2)膜厚はBa(OH)_2の濃度、処理温度、処理時間、通電量に応じて増大する。
3)膜はBaTiO_3/TiO_2/Tiの三層から成っている。
4)交流を用いると膜厚は直流より薄いが均一生は優れいてる。
5)ガラスあるいは耐熱プラスチック基板上にスッパタしたTiからBaTiO_3膜を合成することが出来る。
6)得られたBaTiO_3膜は立方晶で半導体的である。
7)400℃以上の高温の水熱条件で正方晶のBaTiO_3の膜が作製できる。
8)同様の条件でSrTiO_3基板上にBaTiO_3エピタキシャル膜を成長させることができる。
9)同様の方法でSrTiO_3,BaFeO_3,BaNbO_3などの薄膜も作製できる。
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