スレスレ入射回折(GID)法による多層薄膜構造解析システムの開発

1991 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 03452293
• 研究機関: 名古屋工業大学
• 研究代表者: 虎谷 秀穂 名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (20143662)
• キーワード: スレスレ入射回折法 / 計算機用ソフトウェア- / 解析システム開発

研究概要

近年、材料の分野においては電気、磁気、そして光学的に極めて有用な諸物性を示す薄膜(thin film)の研究・開発が非常に盛んになっている。これは、半導体、磁気記録媒体などを生産するエレクトロニクス産業を支える材料の一つとして、薄膜の重要性が高まっているからに他ならない。本研究はスレスレ入射回折法を用いた多層薄膜(multilayer thin film)の構造解析システムの開発を目指したものである。研究は3年間において、1)実験装置の購入・設置(一部改造)、2)解析アルゴリズムの確立と解析用ソフトウェア-の開発、および 3)システム(回折装置+ソフトウェア-)の応用研究から成り立っている。
平成3年度においては、予定の実験装置の購入・設置・改造の内、既成の2軸型薄膜用回折装置の購入、および設置までは当初のスケジュ-ルどうりにおこなった。しかし、装置に対する光学系の改造に多少遅れが出た。これは、スレスレ入射回折法を用いた多層薄膜の構造解析を実現させる上で必要な平行ビ-ム法を用いるため改造が特注のため、工程数が多くかったためである。
スレスレ入射回折デ-タ解析用のプログラム開発に関しては、平成3年度においてそのプロトタイプの開発が終了した。これは、当初の予定よりも、多少、進行している。

研究成果

• [文献書誌] W,Parrish.,C,Erikson.,T.C.Huang.,M.Hant.,B,Gills.,H,Toraya: "Xーray Reflectometry of Singleーand Multiーlayer thin Films" Mat.Res.Soc.Symp.Proc.208. 327-337 (1991)
• [文献書誌] N,Masciocchi.,H.Toraya.,W,Pnrrish: "A・θーDependent Error Present in Powder Data of Highly Absorbing Materials" Mat.Sci.Forum. 79ー82. 245-250 (1991)
• [文献書誌] H.Toraya.,W,Parrish: "A ccurate Defermination of UnitーCell Parameters using Conventional Xーray Powder Diffrattometing" Proc.Pacific.Int.Cong.Xーray,Anal.Meth. (1992)