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セラミックスの構造工程において焼結が重要なプロセスである。プラズマを利用してセラミックスの焼結をする技術開発について得られた研究成果をまとめた。
第1章では難焼結性セラミックスの焼結方法と装置について述べた。共有結合性セラミックスと焼結、焼結の駆動力、物質移動速度、蒸発、焼結機構について整理した。第2章ではプラズマ焼結法について述べた。プラズマ焼結の位置付け、プラズマ焼結の歴史、プラズマ焼結法、プラズマ焼結の主要因子、プラズマ焼結体の性質、プラズマ焼結の長所と短所、プラズマ焼結に期待される効果、プラズマ焼結の例について整理した。第3章では低温プラズマを利用したSiCの焼結について述べた。緻密化挙動、重量損失、結晶学的変化及び微細構造変化について研究結果を整理した。第4章ではプラズマ焼結によるAIN緻密化の時間変化について述べた。高周波発振出力の影響、ガス圧力の影響、試料温度について整理した。第5章ではプラズマ焼結中の試料温度の測定について述べた。試料温度測定の実験技術、温度シミュレーション、起電力の測定、熱定数の推定、プラズマ焼結後のノイズ、試料内温度分布の変化について整理した。第6章AINプラズマ焼結に及ぼすプラズマ条件の影響について述べた。緻密化に及ぼすプラズマ条件の影響、アノード電流の低下、焼結体の表面状態とプラズマ条件の関係について整理した。第7章ではAINのプラズマ焼結に及ぼす試料吸着ガスの影響について試料吸着ガス及びそれの緻密化への影響、水分のプラズマ内挙動について整理した。第8章ではAINプラズマ焼結体のキャラクタリゼーションについて述べた。焼結体内部の構造、ビッカース硬度、熱伝導率について整理した。第9章ではSiC-C複合体のプラズマ焼結について述べた。プラズマ条件と焼結体、試料条件と焼結性、電気的性質、機械的性質について整理した。
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