| 研究課題/領域番号 |
03555059
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| 研究種目 |
試験研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
電子材料工学
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
内山 晋 名古屋大学, 工学部, 教授 (40023022)
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| 研究分担者 |
神保 睦子 大同工業大学, 材料科学技術研究所, 講師 (00115677)
綱島 滋 名古屋大学, 工学部, 教授 (80023323)
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| 研究期間 (年度) |
1991 – 1993
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| キーワード | 超高周波帯 / 磁性薄膜 / 透磁率 / ストリップライン |
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| 研究概要 |
RFインピーダンスアナライザと平板コイルを用いて、薄膜の透磁率を決める要因である自然共鳴と渦電流損の影響の現れる周波数(数百MHz)を超えて透磁率を測定することを試みた。即ち、1〜1000MHzの周波数領域で、コイルに膜を入れる前と入れた後のインダクタンスの変化から透磁率の実数部を、抵抗の変化から虚数部を評価することを試みた。その結果、ストリップラインによる透磁率の測定値は10〜200MHzの領域の2〜5ターンのコイルを用いた結果とほぼ一致し、またこれまで報告されたことのない200MHz以上での透磁率についても、膜の飽和磁界と異方性磁界の大きさから見積もられる自然共鳴周波数を超えると急激に低下しており、この測定方法が妥当なものであることを明らかにした。さらに、非磁性層と磁性層を積層した膜の透磁率の高周波特性は、同程度の磁性層厚を持つ単層膜と比較して改善されていることを明らかにした。また、単層膜では、数十MHz以下に磁壁移動によると思われる損失が見られ、100MHz以上の高い周波数領域では損失分がブロードなピークを持ち、自然共鳴周波数の分散が著しいことがわかった。
さらに、一般に広く用いられている8の字コイル法で透磁率を測定し、RFインピーダンスメータと平板コイルとを用いて測定した透磁率と比較した。その結果、両者の測定結果はほぼ一致し、RFインピーダンスメータと平板コイルを用いた透磁率の測定法は、超高周波帯の実効透磁率の測定法として有効であることを確認した。
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