速いタイム・レスポンスを持つ真空紫外光用メッシュ障壁型ホト・ダイ-ドの開発

1991 年度 実績報告書

• 研究課題/領域番号: 03650039
• 研究機関: 早稲田大学
• 研究代表者: 菊池 順 早稲田大学, 理工学研究所, 教授 (50063665)
• 研究分担者: 柏木 利介 早稲田大学, 理工学研究所, 助手 (40202006)
• キーワード: 真空紫外光 / ホト・ダイオ-ド / ホト・エッチング / メッシュ型電極 / シリコン・ウェハ-

研究概要

我々の研究室でMITから送られて来た90μm間隔10μm幅のメッシュ・マスクを用いてAlメッシュ電極をp型シリコン上にホト・エッチング法で取り付けてその特性を調べてみた所、一応の成果を得たので、その製作方針に基いて20枚分の真空紫外光用メッシュ表面障壁型ホト・ダイオ-ドの製作を、昨年11月にレイチック社に依頼した。3月始めに試作品第一号が出来たので現在それをテスト中である。もしも、良いものができておればこの方針に従って20枚分製作することになっている。完成は4月下旬の予定である。