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1992 年度 実績報告書

分析電子顕微鏡X線分析法の汎用化と材料の微細組織制御への応用

研究課題

研究課題/領域番号 03650580
研究機関九州大学

研究代表者

根本 実  九州大学, 工学部, 教授 (90005265)

研究分担者 田 文懐  九州大学, 工学部, 助手 (50223631)
佐野 毅  九州大学, 工学部, 助手 (70037810)
堀田 善治  九州大学, 工学部, 助教授 (20173643)
キーワード分析電子顕微鏡 / 微細組織 / X線吸収差法 / 外挿法 / 計算機支援 / Ni-Al-Ta系3元合金 / Ni-Al2元系 / 拡散対
研究概要

金属材料に限らず、半導体、セラミックスなども高性能になるにしたがい内部の微細組織、とくに熱力学に準安定状態、あるいは、比較的低温度域における相平衡の制御が重要となってくる。分析電子顕微鏡(AEM)を用いて得られた成果は以下の通りである。
(1)析出強化型合金の強化量を表す重要なパラメータである分散粒子の体積分率を求めるためには、電顕観察領域の正確な膜厚の測定が必要である。X線吸収差法を不規則γ相を含むNi_3(Al、Ti)合金および微細分散炭化物を含むTiAl合金の膜厚測定に適用し、他の方法よりも高い精度で膜厚測定ができることを示した。
(2)微小部X線定量分析に必要な吸収補正の外挿法の汎用化には、より一層の迅速化が望まれる。計算機支援と電子銃をより高輝度のFEGとした分析電顕により測定時間は従来より大幅に短縮され、測定精度も向上した。
(3)Ni-Al-Ta系Ni側3元合金におけるγ/γ'相平衡の研究にAEM-EDS法を用いた。Taはγよりもγ'相へ多く配分され、Ta量の増加とともに両者への配分は同程度となる傾向がみられた。化学量論組成近傍のγ'相中のTaはLl_2型構造のAlの位置をとり易いことがALCHEMI法により明らかになった。
(4)Ni-Al2元系のNi/Ni_3AlおよびNi_3Al/NiAl拡散対を用い、異相界面および接合界面近傍の濃度測定や組織観察を行った。AEM-EDS法とEPMA法で測定した相互拡散係数は同様な値であることから、空間分解能が低いEPMA法では測定不可能な低温度域での拡散係数もAEM-EDS法では測定できることが示された。

  • 研究成果

    (9件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (9件)

  • [文献書誌] WATANABE,Masashi: "Study of Ni/Ni_3Al Diffusion-Couple Interface by Analytical Electron Microscopy and High Resolution Electron Microscopy" Proc.50th Annual Meeting of the Electron Microscopy Society of America,San Francisco Press,San Francisco,. 54-55 (1992)

  • [文献書誌] NEMOTO,Minoru: "Microstructure of Precipitation Strengthend Ni_3Al and TiAl" Materials Science and Enginerring. A-152. 247-252 (1992)

  • [文献書誌] TIAN,Wen Huai: "Analytical Electron Microscopy Study of γ-γ' Phase Equilibria in Ni-Al-Ta Alloys" Materials Transactions.JIM. 33. 1084-1092 (1992)

  • [文献書誌] HORITA,Zenji: "Computer-assisted Extrapolation Method for Absorption Correction in Quantitative X-ray Microanalysis" Ultramicroscopy. 45. 263-265 (1992)

  • [文献書誌] HORITA,Zenji: "Delocalization Corrections Using a Disordered Structure for Atom Location by Channelling-Enhanced Microanalysis in the Ni-Al System" Philosophical Magagine,A. 66. (1992)

  • [文献書誌] WATANABE,Masashi: "Application of Analytical Electron Microscopy to Diffusivity Measurements in Ni-Al System" Defect and Diffusion Forum,Sci-Tech Publications Ltd.,Liechtenstein. (1993)

  • [文献書誌] WATANABE,Masashi: "Observaton and Microanalysis across Ni/Ni_3Al Diffusion-Couple Interface" Defect and Diffusion Forum,Sci-Tech Publications Ltd.,Liechtenstein. (1993)

  • [文献書誌] TIAN,Wen Huai: "An Application of Differential X-ray Absorption Method to Thickness Measurement in Precipitate-Containing Ni_3(Al,Ti) and TiAl Compounds" Philosophical Magagine,B. (1993)

  • [文献書誌] 渡辺 万三志: "分析電子顕微鏡X線微小部分析法によるNi-Al系相互拡散係数の測定" 日本金属学会誌. (1993)

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公開日: 1994-03-23   更新日: 2016-04-21  

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