1992 年度実績報告書

分析電子顕微鏡X線分析法の汎用化と材料の微細組織制御への応用

研究課題

研究課題/領域番号	03650580
研究機関	九州大学
研究代表者	根本実九州大学, 工学部, 教授 (90005265)
研究分担者	田文懐九州大学, 工学部, 助手 (50223631) 佐野毅九州大学, 工学部, 助手 (70037810) 堀田善治九州大学, 工学部, 助教授 (20173643)
キーワード	分析電子顕微鏡 / 微細組織 / X線吸収差法 / 外挿法 / 計算機支援 / Ni-Al-Ta系3元合金 / Ni-Al2元系 / 拡散対
研究概要	金属材料に限らず、半導体、セラミックスなども高性能になるにしたがい内部の微細組織、とくに熱力学に準安定状態、あるいは、比較的低温度域における相平衡の制御が重要となってくる。分析電子顕微鏡(AEM)を用いて得られた成果は以下の通りである。 (1)析出強化型合金の強化量を表す重要なパラメータである分散粒子の体積分率を求めるためには、電顕観察領域の正確な膜厚の測定が必要である。X線吸収差法を不規則γ相を含むNi_3(Al、Ti)合金および微細分散炭化物を含むTiAl合金の膜厚測定に適用し、他の方法よりも高い精度で膜厚測定ができることを示した。 (2)微小部X線定量分析に必要な吸収補正の外挿法の汎用化には、より一層の迅速化が望まれる。計算機支援と電子銃をより高輝度のFEGとした分析電顕により測定時間は従来より大幅に短縮され、測定精度も向上した。 (3)Ni-Al-Ta系Ni側3元合金におけるγ/γ'相平衡の研究にAEM-EDS法を用いた。Taはγよりもγ'相へ多く配分され、Ta量の増加とともに両者への配分は同程度となる傾向がみられた。化学量論組成近傍のγ'相中のTaはLl_2型構造のAlの位置をとり易いことがALCHEMI法により明らかになった。 (4)Ni-Al2元系のNi/Ni_3AlおよびNi_3Al/NiAl拡散対を用い、異相界面および接合界面近傍の濃度測定や組織観察を行った。AEM-EDS法とEPMA法で測定した相互拡散係数は同様な値であることから、空間分解能が低いEPMA法では測定不可能な低温度域での拡散係数もAEM-EDS法では測定できることが示された。

研究成果

(9件)

すべてその他

すべて文献書誌 (9件)

[文献書誌] WATANABE,Masashi: "Study of Ni/Ni_3Al Diffusion-Couple Interface by Analytical Electron Microscopy and High Resolution Electron Microscopy" Proc.50th Annual Meeting of the Electron Microscopy Society of America,San Francisco Press,San Francisco,. 54-55 (1992)
[文献書誌] NEMOTO,Minoru: "Microstructure of Precipitation Strengthend Ni_3Al and TiAl" Materials Science and Enginerring. A-152. 247-252 (1992)
[文献書誌] TIAN,Wen Huai: "Analytical Electron Microscopy Study of γ-γ' Phase Equilibria in Ni-Al-Ta Alloys" Materials Transactions.JIM. 33. 1084-1092 (1992)
[文献書誌] HORITA,Zenji: "Computer-assisted Extrapolation Method for Absorption Correction in Quantitative X-ray Microanalysis" Ultramicroscopy. 45. 263-265 (1992)
[文献書誌] HORITA,Zenji: "Delocalization Corrections Using a Disordered Structure for Atom Location by Channelling-Enhanced Microanalysis in the Ni-Al System" Philosophical Magagine,A. 66. (1992)
[文献書誌] WATANABE,Masashi: "Application of Analytical Electron Microscopy to Diffusivity Measurements in Ni-Al System" Defect and Diffusion Forum,Sci-Tech Publications Ltd.,Liechtenstein. (1993)
[文献書誌] WATANABE,Masashi: "Observaton and Microanalysis across Ni/Ni_3Al Diffusion-Couple Interface" Defect and Diffusion Forum,Sci-Tech Publications Ltd.,Liechtenstein. (1993)
[文献書誌] TIAN,Wen Huai: "An Application of Differential X-ray Absorption Method to Thickness Measurement in Precipitate-Containing Ni_3(Al,Ti) and TiAl Compounds" Philosophical Magagine,B. (1993)
[文献書誌] 渡辺万三志: "分析電子顕微鏡X線微小部分析法によるNi-Al系相互拡散係数の測定" 日本金属学会誌. (1993)

1992 年度 実績報告書

分析電子顕微鏡X線分析法の汎用化と材料の微細組織制御への応用

研究代表者

根本 実 九州大学, 工学部, 教授 (90005265)

研究成果

[文献書誌] WATANABE,Masashi: "Study of Ni/Ni_3Al Diffusion-Couple Interface by Analytical Electron Microscopy and High Resolution Electron Microscopy" Proc.50th Annual Meeting of the Electron Microscopy Society of America,San Francisco Press,San Francisco,. 54-55 (1992)

[文献書誌] NEMOTO,Minoru: "Microstructure of Precipitation Strengthend Ni_3Al and TiAl" Materials Science and Enginerring. A-152. 247-252 (1992)

[文献書誌] TIAN,Wen Huai: "Analytical Electron Microscopy Study of γ-γ' Phase Equilibria in Ni-Al-Ta Alloys" Materials Transactions.JIM. 33. 1084-1092 (1992)

[文献書誌] HORITA,Zenji: "Computer-assisted Extrapolation Method for Absorption Correction in Quantitative X-ray Microanalysis" Ultramicroscopy. 45. 263-265 (1992)

[文献書誌] HORITA,Zenji: "Delocalization Corrections Using a Disordered Structure for Atom Location by Channelling-Enhanced Microanalysis in the Ni-Al System" Philosophical Magagine,A. 66. (1992)

[文献書誌] WATANABE,Masashi: "Application of Analytical Electron Microscopy to Diffusivity Measurements in Ni-Al System" Defect and Diffusion Forum,Sci-Tech Publications Ltd.,Liechtenstein. (1993)

[文献書誌] WATANABE,Masashi: "Observaton and Microanalysis across Ni/Ni_3Al Diffusion-Couple Interface" Defect and Diffusion Forum,Sci-Tech Publications Ltd.,Liechtenstein. (1993)

[文献書誌] TIAN,Wen Huai: "An Application of Differential X-ray Absorption Method to Thickness Measurement in Precipitate-Containing Ni_3(Al,Ti) and TiAl Compounds" Philosophical Magagine,B. (1993)

[文献書誌] 渡辺 万三志: "分析電子顕微鏡X線微小部分析法によるNi-Al系相互拡散係数の測定" 日本金属学会誌. (1993)

1992 年度実績報告書

根本実九州大学, 工学部, 教授 (90005265)

[文献書誌] 渡辺万三志: "分析電子顕微鏡X線微小部分析法によるNi-Al系相互拡散係数の測定" 日本金属学会誌. (1993)