| 研究分担者 |
古谷 克司 豊田工業大学, 工学部, 助手 (00238685)
吉本 成香 東京理科大学, 工学部, 助教授 (80096718)
内田 悦行 愛知工業大学, 工学部, 教授 (20023187)
清水 茂夫 明治大学, 理工学部, 教授 (50061982)
諸貫 信行 東京都立大学, 工学部, 助教授 (90166463)
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| 研究概要 |
1.送り要素について
(1)ボールねじ ナットの予圧制御に関して,実機への応用を可能とする基礎データを得た(深田).(2)摩擦駆動 駆動部に存在する非線形ばね特性がテーブル位置より変動する理由を明らかにした(大塚).位置決め動作をシミュレーションし,装置の設計方法を確立した(清水弘).
2.案内要素について
(1)転がり案内 各種案内が持つ位置決め特性を明らかにした(井澤).レールにミスアライメントが生じたときのテーブルの姿勢変化と摩擦特性を明らかにした(清水茂).(2)空気静圧案内 2段絞り軸受を提案し,これが無限剛性化に有効であることを理論・実験より明らかにした(十合,斎藤).サブミクロン隙間で動作する軸受を提案し,その動特性を求めた(吉本).
3.平行ばねについて
機械的な拡大機構を作成し,その特性を明らかにした(吉村).
4.センシングについて
回析モアレ法を用いた位置決め角度設定について,ハードとソフトの適正配分による精度の最適設計指針を見出した(内田).センサフュージョン法を工作機械に応用し,有効な結果を得た(白石).
5.位置決め装置
以上の研究をもとにして装置を作成し,次のような100nm(0.1μm)精度以下の高性能・超精密位置決めを達成した.
空気浮上電磁駆動リニアパルスモータの位置決め特性を得た(内田).テーブルの加速度の2階積分による位置決めが可能であることを確認した(深田).回転する超精密3自由度(z,σ,φ)位置決め機構の回転面振れ誤差を,センサ分解能まで補償しえた(青山).ナノメータ研削盤の加工点制御型微小変位台を試作し,静剛性無限大,位置決め分解能5nm,帯域80Hzを得た(古谷,大塚).サーボモータ,ボールガイド,ボールねじのオープンループ位置決め装置で,0.1μm位置決め分解能を得た(清水茂).
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