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1993 年度 実績報告書

サイズ制御クラスター堆積法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 04402020
研究機関名古屋工業大学

研究代表者

奥山 文雄  名古屋工業大学, 工学部, 教授 (30024235)

研究分担者 種村 眞幸  名古屋工業大学, 工学部, 講師 (30236715)
北 重公  名古屋工業大学, 工学部, 助教授 (60006153)
キーワードクラスター / 新材料 / 質量分析 / 薄膜
研究概要

1.全体システムの組み立て:装置全体システムの組み立てを、平成5年10月に完了した(Fig.1)。
2.FI質量スペクトルの測定:上記装置により、金属クラスターのFI質量測定を行い、画期的な成果が得られた。亜鉛(Zn)クラスターについての結果をFig.2に示す。ダイマーシグナル群の強度分布は、Znの同位元素相対存在量から予測される理論的強度分布と異なり、ダイマー形成時における同位元素の組合せに選択性が存在することが示唆される。
3.亜鉛ダイマー膜の堆積:質量分離されたZn_2^+イオンをエポキシ薄膜上に堆積させることに成功した。このようなZn膜は、非晶質構造をもつ。一般に、モノマー(原子)堆積によるZn薄膜は多結晶である。同一組成でありながら、膜構造に明確な差異が生ずるのは、堆積種が原子であるかクラスターであるかの相違によるものと予想される。

  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] H.Hoshino,M.Tanemura and F.Okuyama: "A new mass spectromtery system for analyzing metal cluster beams" Rev.Sci.Instruments. (to be published).

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公開日: 1995-02-08   更新日: 2016-04-21  

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