| 研究分担者 |
小野 文慈 九州大学, 工学部, 助手 (60224276)
小林 正木 九州大学, 工学部, 助手 (90037789)
鳥山 寿之 九州大学, 工学部, 助手 (30227681)
野口 博司 九州大学, 工学部, 助教授 (80164680)
山本 雄二 九州大学, 工学部, 教授 (10037997)
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| 研究概要 |
本年度の研究成果は次のようにまとめられる.
(1)SEMおよびディジタル疲労試験機の試運転を完了した.また,しゅう動実験により発生する表面損傷の状況のリアルタイム観察に必要な,定点観察と移動点観察の両方が行えるシステムを完成した.現在,SEM中における磁気ディスク試験片とヘッドのしゅう動試験を可能にするために,しゅう動試験用治具を試作中である.さらに,磁気ディスクとヘッドの様々な材料の組み合わせによるピンオンディスク摩耗試験が可能な小型試験機を製作中である.
SEM中試験結果の詳細としゅう動試験結果の詳細は,来年度の研究成果に記載する予定である.
(2)微小硬度法による薄膜の力学的特性を把握するために,三角錐圧子の弾性・弾塑性押し込み解析プログラムを開発した.薄膜の力学的特性の解明の準備として,種々の金属材料を用いた圧子押し込みの実験結果と解析結果の比較を行い,プログラムの信頼性と精度を検討した.
また,数10nmオーダーの弾性押し込み解析結果と測定結果を突き合わせることにより,極めて薄い膜のヤング率の測定が可能であることを証明した.しかし,対頂角が標準のものより小さい圧子を軟質の材料に押し込んだ場合の解析結果は測定結果と一致しなかったので,鋭い圧子先端の大変形を正確に解析する工夫が必要であることがわかった。
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