| 研究課題/領域番号 |
04452087
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| 研究機関 | 東京工業大学 |
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研究代表者 |
高柳 邦夫 東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 教授 (80016162)
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| 研究分担者 |
木村 嘉伸 東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 助手 (60225076)
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| キーワード | エピタクシャル界面 / ショットキー障壁 / 超高真空電子顕微鏡法 / 原子スケール界面構造 / シリコン・金属界面 |
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| 研究概要 |
本年度は、2年度研究計画の初年度にあたり、超高真空電子顕微鏡用特殊試料ホルダーの設計および、製作を行なった。本装置はこの研究の基本の装置なので、慎重な設計を行なったため完成が当初の予定より遅れ、まだ実質的な効果は得られていない。同時に、超高真空電子顕微鏡を用いて、シリコン-金属皮膜の界面の形成過程や構造についての研究を行い、特殊ホルダーが出来たときの研究計画の準備を整えた。
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