| 研究課題/領域番号 |
04452310
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
菅井 秀郎 名古屋大学, 工学部, 教授 (40005517)
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| 研究分担者 |
中村 圭二 名古屋大学, 工学部, 助手 (20227888)
豊田 浩孝 名古屋大学, 工学部, 講師 (70207653)
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| キーワード | ボロニゼーション / ボロンコーティング / デガボラン / シボラン / 酸素ゲッタリング / 水素リサイクリング / 核融合 / プラズマCVD |
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| 研究概要 |
前年度に続いて、デカボラン(B_<10>H_<14>)を用いるボロニゼーション法について研究し、次のような知見が得られた。
(1)プラズマを用いずに、真空中で高温の壁にデカボランをあてることによりコーティングする熱CVD法について検討した。その結果、300℃程度まで昇温可能な装置では実用化できる見通しを得た。熱CVDでもプラズマCVDでも、デカボランの方がジボランよりも大きな堆積速度が得られることがわかった。
(2)ボロン膜中の水素濃度を調べた所、プラズマCVDの方が、イオン衝撃効果のない熱CVDよりも濃度が小さく、壁温150℃以上では元素組成比H/Bが0.1以下であることがわかった。また、B_<10>H_<14>を原料として重水素化したボロン膜を得るために、コーティング時にD_2で希釈したり、コーティング後にD_2放電処理をするなどの方法を考案し、実用化が可能であることを示した。
(3)この他に、グラファイト壁のボロニゼーション効果、in situコーティング用デカボランペレットの作成、RFによる放電アシスト法、ヘリオトロン装置でのECRボロニゼーションなどの研究を進めた。
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