| 研究概要 |
金属材料の全構成元素を原子レベルの空間分解能をもッて三次元マップとして表示し、かつその任意の超微細領域の定量分析を行なうことのできるユニークな分析装置である三次元アトムプローブFIMの試作を目的とした。同時にリフレクトロンタイプの飛行時間型アトムプローブFIMを試作し,これらを合体させた複合型ナノ材料解析装置として稼働させ、幾つかの金属材料の超微細領域解析を試みる予定である。本年度はこのうち全システムの基本系となるリフレクトロン型飛行時間型アトムプローブのハードウエアーを作製した.飛行時間型アトムプローブは電界イオン顕微鏡に飛行時間型質量分析器を取付けたもので,個々の原子を観察すると同時に,個々のイオンの飛行時間測定によりイオン種を決定できるという究極的な分析手法である.多くのアトムプローブではこれまで静電レンズを用いてエネルギー補償が行なわれてきたが,本装置では最近飛行時間型質量分析器で用いられ始めた静電反射器(リフレクトロン)を我が国で初めて採用し,現在その性.......能を評価中である.さらに三次元アトムプローブ装置として完成させるためにエレクトロニクスならびにソフトウエアーを開発中である.全システムのハードウエアーは既に完成し,現在FIM部は問題なく稼働している.今後アトムプローブの軸あわせならびにイオンビームの収束実験を行ない,飛行時間型アトムプローブを先ず稼働させ,これに位置敏感型検出器を取付け三次元アトムプローブとして拡張してゆく予定である.
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