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1993 年度 研究成果報告書概要

負の電子親和力を持つGaAs光電面電子状態の走査トンネル顕微鏡による研究

研究課題

研究課題/領域番号 04650014
研究種目

一般研究(C)

配分区分補助金
研究分野 応用物性
研究機関静岡大学

研究代表者

萩野 實  静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (90022128)

研究分担者 野村 卓志  静岡大学, 電子工学研究所, 助手 (90172816)
石川 賢司  静岡大学, 電子工学研究所, 助教授 (50022140)
研究期間 (年度) 1992 – 1993
キーワード光電面 / 負の電子親和力 / 走査トンネルの顕微鏡 / ガリウム砒素 / 硫化処理 / 残留ガス吸着 / 分子線エピタキシ / ヘテロエピタキシ
研究概要

本研究は,良く定義されたGaAs(001)面を活性化してその表面構造と電子状態を明らかにし,NEA状態が生じる機構を解明することを目的としている.まず,再現性良く,かつ容易にGaAsの清浄表面を得るために,硫化処理したGaAs表面の光電面への応用を検討した.このために,硫化処理したGaAs試料の昇温脱離スペクトルの測定を行い,硫化物の脱離過程を明らかにした.また,NEA光電面の実用面で問題となる,真空中の残留ガスの吸着による感度低下の機構を調べ,セシウム/酸素活性層の状態が変化するだけではなく,下地のGaAsの酸化によって感度が低下することを見いだした.さらに,試料に用いるGaAs表面は分子線エピタキシ(MBE)法によって製作して原子的尺度で良く定義された面を再現性良く準備し,さらにその活性化過程とセシウム/酸素層の表面構造及び電子状態の解析が可能になるように,MBEで結晶成長した試料を用いた光電面の製作を検討した.製作した光電面を実際に応用するにはNEA活性面と反対側から光を入射する透過モードでの動作が望まれるので,GaAs薄膜を透明基板上に形成する必要がある.このため,我々は透明基板であるGaP上にGaAsの形成を試み,その形成初期過程を明らかにした.また,製作した光電面の電子状態を調べるために,MBE装置と一体となって超高真空中で動作するSTM装置を開発し,グラファイト(HOPG)の原子像を得た.また,GaP(001)基板上に形成されたGaAs島を観察し,その形状が異方性を持つことを明らかにした.

  • 研究成果

    (12件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (12件)

  • [文献書誌] 矢後栄郎: "制御電子回路の雑音除去による走査トンネル顕微鏡の画質改善" 静岡大学電子工学電子工学研究所研究報告. 26. 125-132 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 藁科英永: "(NH_4)_2S_x処理したGaAs表面の昇温脱離法による評価" 静岡大学電子工学電子工学研究所研究報告. 27. 33-40 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Takashi Nomura: "Anisotropic Relaxation of Misfit Strain in GaAs Films Grown on GaP(001)" J.Cryst.Growth. 127. 584-588 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Takashi Nomura: "Temperature Programmed Desorption Study of (NH_4)_2S_x Treated GaAs Surfaces" Appl.Surface Sci.65/66. 638-642 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Tatsuaki Wada: "A Thermal Desorption Analysis for the Adsorption of CO_2 on GaAs Photocathodes" Surface Sci.285. 186-196 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] 矢後栄郎: "分子線エピタキシャル成長した半導体表面観察用STM装置" 静岡大学大学院電子科学研究科研究報告. 15(印刷中). (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] Haruo Yago, Takashi Nomura, Kenji Murakami, Kenji Ishikawa and Minoru Hagino: "Noise Reduction of Electric Circuits for Scanning Tunneling Microscope" Bulletin of the Research Instiktute of Electronics, Shizuoka University. 26. 125-132 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Hidenaga Warashina, Taku Yamagata, Takashi Nomura, Kenji Ishikawa and Minoru Hagino: "Study of (NH_4)_2S_x Treated GaAs Surface Using Thermal Desorption." Bulletin of the Research Institute of Electronics, Shizuoka University. 27. 33-40 (1992)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Takashi Nomura, Kenji Ishikawa, Kenji Murakami and Minoru Hagino: "Anisotropic Relaxation of Misfit Strain in GaAs Films Grown on GaP(001)" Journal of Crystal Growth. 127. 584-588 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Takashi Nomura, Taku Yamagata, Hidenaga Warashina, Kenji Ishikawa and Minoru Hagino: "Temperature Programd Desorption Study of (NH_4)_2S_x Treated GaAs Surfaces" Applied Surface Science. 65/66. 638-642 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Tatsuaki Wada, Takashi Nomura, Masahiro Miyao and Minoru Hagino: "A Thermal Desorption Analysis for the Adsorption of CO_2 on GaAs Photocathodes" Surface Science. 285. 186-196 (1993)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] Haruo Yago, Takashi Nomura, Kenji Ishikawa and Minoru Hagino: "Scanning Tunneling Microscope for the Observation of Semiconductor Surfaces Grown by Molecular Beam Epitaxy" Reports of the Graduate School of Electronic Science and Technology, Shizuoka University. 15 in press. (1994)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 1995-03-27  

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