| 研究課題/領域番号 |
04805037
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| 研究機関 | 宮崎大学 |
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研究代表者 |
佐々木 亘 宮崎大学, 工学部, 教授 (30081300)
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| 研究分担者 |
大坪 昌久 宮崎大学, 工学部, 助手 (90041011)
黒澤 宏 宮崎大学, 工学部, 教授 (80109892)
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| キーワード | レーザー / 真空紫外 / 希ガスエキシマ / 放電励起 / 希ガスクラスタ |
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| 研究概要 |
本研究は、我々が考案したジェット放電方式の最適条件を明らかにし、希ガスエキシマレーザーを放電励起によって発振させることを目的とし、以下の成果を得た。
1.我々の理論的予測どうり、希ガスクラスタを放電で励起することによって希ガスエキシマが生成されることを、四重極質量分析器(現有)により希ガスクラスタ(Ar)_2を観測し、アルゴンクラスタが生成されたときだけ放電中にアルゴンエキシマAr_2^*の生成が観測されることをArエキシマからの発光によって実証した。
2.クラスタの生成は、ノズルの形状、背圧、ジェットを噴射する場所の真空度に、非常に敏感に影響されることが分かった。
3.クラスタからエキシマへの励起は、放電電流、放電電圧、放電の安定性、放電領域のガス密度、放電領域以外の場所のガス密度、等が重要な条件であることが分かった。
4.パルスガスバルブによるクラスタの生成実験から、バルブを開いた直後にクラスタが多量に生成され、その後10msくらいでクラスタの生成率が下がることから、バルブの開閉と放電のタイミングも重要であることが分かった。
5.大きいサイズのクラスタまで測定可能な、飛行時間型質量分析器を製作し、ジェットチェンバーに装着して、希ガスクラスタのサイズ分布が観測ができるようにした。
6.スリットノズルを用いたレーザー利得の測定から、弱いながら利得を126nmの波長で観測し、レーザー発振の可能性があることを明らかにした。これらの結果をふまえて、種々の形状のノズルを製作し易いポイントノズルとパルスガスバルブによるジェットチェンバーを製作し、ノズル形状及び放電条件を設定するデータを得る実験準備を整えた。
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