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1993 年度 実績報告書

10原子層程度の極めて薄い膜からなる多層薄膜の物性研究

研究課題

研究課題/領域番号 05402024
研究機関北海道大学

研究代表者

廣田 榮一  北海道大学, 工学部, 教授 (40241351)

研究分担者 榊間 博  松下電器産業(株), 中央研究所, 主幹研究員
石田 巌  北海道大学, 工学部, 助手 (30001267)
岡田 亜記良  北海道大学, 工学部, 助教授 (40001341)
武笠 幸一  北海道大学, 工学部, 教授 (00001280)
池田 正幸  北海道大学, 工学部, 教授 (50212783)
キーワード金属多層膜 / 巨大磁気抵抗効果 / 強磁性共鳴吸収 / RKKY的交換相互作用 / 超高真空蒸着膜
研究概要

10原子程度の極めて薄い多層膜の物性研究を目的として,以下の事を行った。
1.超高真空薄膜蒸着装置の検討と設置.
到達真空度10^<-11>Torr,蒸着源はEB-銃3箇を備え,予備に3箇のK-セル用ポートを備えている。当面3元の蒸着薄膜が作製できる。基板は1インチ径で蒸着中の温度は常時200℃,最高300℃である。この装置は成膜室と準備室からなり,準備室で基板表面をパルスレーザーでクリーニングする事を予定している。多層膜の成長や膜質の評価はRHEEDにより,in situで行える。将来STMにより膜表面を直接観測できるように,試料の移動機構やSTM取付けポートがある。
2.極薄多層膜の試作とその物性評価.
巨大磁気抵抗効果を示す[NiFeCo/Cu/Co]-多層膜について,Cu-膜厚を変えてMR-効果とCu層を介した磁性層間の結合係数Jを測定し,RKKY的振動を直接確認できた。この結果は日本物理学会欧文誌に発表した。

  • 研究成果

    (1件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (1件)

  • [文献書誌] 渡辺秀樹: "Ferromagnetic Resonance in [NiFeCo/Cu/Co]-Multilayers" Journal of the Physical Society of Japan. 63. 762-768 (1994)

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公開日: 1995-02-08   更新日: 2016-04-21  

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