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1995 年度 研究成果報告書概要

シリコンCVDプロセスおよびナノクラスター形成に関する化学反応機構の解明

研究課題

研究課題/領域番号 05403020
研究種目

一般研究(A)

配分区分補助金
研究分野 反応・分離工学
研究機関東京大学

研究代表者

松為 宏幸  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (00026098)

研究分担者 三好 明  東京大学, 大学院・工学系研究科, 講師 (60229903)
手崎 衆  東京大学, 大学院・工学系研究科, 助手 (50236965)
越 光男  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (20133085)
研究期間 (年度) 1993 – 1995
キーワードシラン / ジシラン / 多光子イオン化 / 時間分解質量分析 / シリルラジカル / ジシレン / レーザ光分解 / 二量化
研究概要

アモルファスシリコン生成機構やシリコンナノクラスター生成の過程で重要なジシレンやシリルシリレン等のラジカルは、その存在が量子化学計算では予測されているが、実験的には検出されていない。本研究ではこれらのラジカルを検出することを目的としてレーザ多光子イオン化法を用いた飛行時間型質量分析計を開発した。昨年度までに開発した装置の分解能と感度を向上させるため、ドリフトチューブを長くし、さらに2段収束電極中にアインゼル型のイオンレンズを挿入した。この改良された装置を用い、主としてSi_2H_nラジカルの検出を試みた。反応管中にHe希釈された塩素ガスを流し、これにマイクロ波放電を行って塩素原子を生成し、シランまたはジシランを混合して水素引き抜き反応をおこさせて各種のSi-H系のラジカルを生成した。シランを用いた場合、Si,SiH,SiH_2の信号を観測でき、これらの信号のイオン化光源(レーザ)の波長依存を測定したが、その結果シリル以外は波長依存がなく非共鳴イオン化による信号である事が分かった。SiHイオン生成経路についてはシリルラジカルイオンの解離によるものと推定した。ジシランを用いた場合には、Si_2,Si_2H_3等のイオン信号が観測されたが、いずれも非共鳴イオン化による信号であることが確認された。SiClの強い信号も観測されたが、この起源については不明である。

  • 研究成果

    (10件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (10件)

  • [文献書誌] K. Matsumoto et al.: "Mechanism and Product Branching of SiH3+SiH3" Journal of Physical Chemistry. 100(印刷中). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] A. Miyoshi et al.: "Site Specific Branching for O(^3P)and OH+C3H8 Reaction" Journal of Physical Chemistry. 100(印刷中). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] H. Shiina et al.: "Kinetics Studies on The Pyrolysis of H2S" Journal of Physical Chemistry. 100(印刷中). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] A. Tezaki et al.: "Reactions of NH(a^1△)with H2S" Journal of Physical Chemistry. 99. 1466-1469 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K. Yunoki et al.: "Reaction Mechanism of NH(a^1△)+H2 and D2" Bull. Chem. Soc. of Japan. 69(印刷中). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(和文)」より
  • [文献書誌] K.Matsumoto et al.: "Mechanism and Product Branching of the SiH_3+SiH_3 Reaction" J.Phys.Chem.(in press). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] A.Miyoshi et al.: "Site Specific Branching for O (^3P) and OH+C_3H_8 Reaction" J.Phys.Chem.100 (in press). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] H.Shiina et al.: "Kinetic Studies on the Pyrolysis of H_2S" J.Phys.Chem.100 (in press). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] A.Tezaki et al.: "Reactions of NH (a^1DELTA) with SiH_4" J.Phys.Chem.99. 1466-1469 (1995)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より
  • [文献書誌] K.Yunoki et al.: "Reaction Mechanism of NH (a^1DELTA) with H_2 and D_2" Bull.Chem.Soc.Japan. 69 (in press). (1996)

    • 説明
      「研究成果報告書概要(欧文)」より

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公開日: 1997-03-04  

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