| 研究課題/領域番号 |
05452139
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| 研究種目 |
一般研究(B)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 研究分野 |
機械工作・生産工学
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| 研究機関 | 愛媛大学 |
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研究代表者 |
井出 敞 愛媛大学, 工学部, 教授 (20029276)
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| 研究分担者 |
豊田 洋通 愛媛大学, 工学部, 助手 (00217572)
八木 秀次 愛媛大学, 工学部, 助教授 (40036471)
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| 研究期間 (年度) |
1993 – 1994
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| キーワード | 超微粒子 / 静電加速 / ダイヤモンド状膜 / TOF |
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| 研究概要 |
1 超微粒子ビーム加工装置の製作・・・マイクロ波空洞共振型超微粒子生成室(プラズマ発生室)と加工室(高真空室)とが細い金属製の輸送管で連結された加工装置を製作した。
2 超微粒子の作製実験・・・生成超微粒子の粒径制御と最適生成条件の検討を行った。粒径20nmのグラファイトライク構造の超微粒子が再現性良く作製できることがわかった。この超微粒子を輸送して次項の加速実験を行った。
3 超微粒子の加速方法の開発・・・電界電子放射帯電加速、二次電子放射帯電加速、流体加速の三方式の超微粒子の加速法に基づいて装置を製作し、加速実験を行った。電界電子放射帯電法による加速実験では、超微粒子の衝撃加速による構造変化が認められた。二次電子放射帯電法および流体加速法による加速実験では構造変化が認められなかった。製膜の効率という点ではこの二方式が優れているので、今後も研究を続ける必要がある。
4 超微粒子の速度測定法の開発・・・加速された超微粒子の速度をTOF(飛行時間)法に基づいて測定できるシステムを製作し、速度測定実験を行った。輸送管から吹きだした超微粒子の速度が測定できた。現状では測定誤差の問題があるので、測定系の改良が必要である。
5 製膜技術の総合評価・・・本研究により超微粒子の生成・輸送・加速という一連のプロセスの有機的な結合がなされ、超微粒子ビーム加工法の基礎が形成された。
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