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1995 年度 実績報告書

極限清浄環境下における静電気現象の解明

研究課題

研究課題/領域番号 05452195
研究機関東京大学

研究代表者

小田 哲治  東京大学, 大学院・工学系研究科, 教授 (90107532)

研究分担者 板垣 敏文  東京大学, 大学院・工学系研究科, 助手 (60242012)
キーワード静電気放電 / 帯電 / 剥離 / 電磁雑音 / 空間電荷分布
研究概要

本研究は、平成5年度より3カ年計画で開始されたものである。その最終年度に当たる今年度は、これまでの研究のまとめとして、いくつかの研究においてデータの性能向上、補足を含めた研究を行った。空間電荷分布測定としては、高分子ピエゾ材料・PVDFを用いたナノ秒パルス衝撃波法を、雑音レベル低減などによって分解能向上を図り、測定セルの堅牢化、雑音進入経路の遮断などによって昨年度の20μm分解能から7μm分解能に向上することができた。また、その結果を用いて帯電防止表面処理の効果を空間電荷分布測定として調べたところ、測定信号に明らかな有意差が認められることがわかった。但し、空間電荷密度分布そのものを直接的に正確に知ることはできなかった。今後分解能を1μm以下にする必要性が高いことも明確になった。静電誘導と電磁誘導との間には明らかに違いがあること、特に、静電誘導観測から極めて高速の物理現象が存在していることを裏づける測定結果が現れたこと、極性依存性が明らかに存在していることなどが判明した。帯電防止処理としては、従来は、減圧空気の下での交流プラズマに曝した表面の帯電防止効果のみを調べていたが、本年度は、空気以外に、アルゴンガスプラズマに曝した高分子表面の各種特性を調べた。結果としては、プラズマ媒体が空気とアルゴンとでの相違は観測範囲では認められなかったことから、本表面処理については、酸素イオンの効果は少ないものと想像される。更に、プラズマ処理後に、最大、空気中に一週間保存してその間における表面の変化を調べた。水の接触角測定では、かなり放電プラズマ処理効果が消えていくような結果である。表面にコロナ荷電をすると見かけ上の表面電荷密度分布では変化が少ないようであっても、熱刺激電流観測では、プラズマ処理によってかなりの変化が現れ、表面処理効果への感度は十分高いことなどが明らかとなり、清浄環境と静電気問題への足がかりが出来たものといえる。

  • 研究成果

    (6件)

すべて その他

すべて 文献書誌 (6件)

  • [文献書誌] T,Oda et al: "Charging of HDPE Films dueto Surface Effects during Fabrication" Journal of Electrostatics. 35. 167-177 (1995)

  • [文献書誌] T.Oda et al: "Space and Surface Charge Behavior Analysis of Chavge-Eliminated Polymer Films" Conf.Rec.of 1995 IEEE/IAS Annual Meeting. 1523-1528 (1995)

  • [文献書誌] 汪士楠、小田哲治: "超短パルス放電によるプラズマ表面処理を施したポリエチレン薄膜の表面状態と熱刺激電流特性" 静電気学会誌. 11. 56-61 (1995)

  • [文献書誌] 汪士楠、小田哲治: "CVケーブルの熱刺激電流とその繰り返し測定の影響" 静電気学会誌. 11. 314-3 (1995)

  • [文献書誌] K.Takashima and T.Oda: "Space and Surface Charge Behavior Analysis of Plasma Pre-Processed PTFE Films" 静電気学会講演論文集. 49-54 (1995)

  • [文献書誌] 小田哲治,市山慎一郎: "プラズマ処理による薄膜の帯電防止の試み" 静電気学会講演論文集. 271-274 (1995)

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公開日: 1997-02-26   更新日: 2016-04-21  

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