| 研究概要 |
表面の乾式洗浄法として,パルスエアジェットを用いる方法について検討した結果,これまで以下のような成果が得られている.
1.ノズルより噴出されるエアジェットの条件(噴射角度,ウエハ表面-ノズル間距離,噴射圧力)と粒子除去率の関係を調べ,最適なエアジェットの条件を実験的に求めた.
2.上記の実験で得られた最適な条件で,ジェット噴射時間と粒子除去率の関係を調べたところ,表面からの粒子の飛散はジェットを噴射した瞬間に起こり,除去率は噴射時間によらずほぼ一定値をとる.
3.滑らかな表面を持つウエハに真球で単分散粒子のPSL(Polystyrene Latex)粒子を付着させ,繰り返しパルスエアジェットを噴射したところ,ジェットの噴射回数の増加とともに粒子除去率は上昇し,0.136μmの粒子でも除去できることが確認された.
4.粒子を重力沈降あるいは慣性衝突によりウエハ表面に付着させ,粒子付着過程の粒子除去率への影響について検討した結果,粒子を付着させた後長時間(10時間以上)放置すると,粒子の付着過程によらず除去率は一定となる.
5.粒子の材質および表面の材質を変化させて除去実験を行ったところ,表面が滑らかで粒子が真球に近い場合には,粒子の除去率は付着力と流体抵抗の比のみの関数として相関できる.
平成5年度の研究により,パルスエアジェットは滑らかな表面に対しては非常に有効な除去法であることが確認された.今後は,表面に凸凹がある場合について,表面の粗度と粒子の除去率について検討する必要がある.
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