• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 課題ページに戻る

1993 年度 実績報告書

III-V族化合物半導体単結晶成長時のフラックスと原料融体間の各種元素の分配

研究課題

研究課題/領域番号 05453091
研究機関東北大学

研究代表者

井口 泰孝  東北大学, 工学部, 教授 (90005413)

研究分担者 渡辺 雅俊  東北大学, 工学部, 助手 (10240524)
成島 尚之  東北大学, 工学部, 助手 (20198394)
キーワードLEC法 / 液相線 / 溶解度 / 状態図 / 酸化ホウ素 / 酸化インジウム / 酸化ガリウム / アルミナ
研究概要

1.B_2O_3-III族酸化物系状態図の作製
溶融B_2O_3中へのIII族酸化物の溶解度測定および液相と平衡する固相を同定することによりB_2O_3-Ga_2O_3、B_2O_3-In_2O_3、B_2O_3-Al_2O_3各二元系状態図を作製することができた。以下に結果を示す。
溶解度 log(Ga_2O_3/mass%)=-4880/T+3.95(T:973〜1573K),Δ
log(In_2O_3/mass%)=-9208/T+5.32(T:1273〜1573K),Δ
log(Al_2O_3/mass%)=-6043/T+4.30(T:1073〜1573K),Δ
平衡相 B_2O_3-Ga_2O_3 :GaBO_3(973〜1191K)Δ
:Ga_2O_3(1191〜1573K),Δ
B_2O_3-In_2O_3 :InBO_3(1273〜1191K),Δ
B_2O_3-Al_2O_3 :2Al_2O_3・B_2O_3(1073〜1419K)Δ
:9Al_2O_3・2B_2O_3(1419〜1573K),Δ
2.純Ga_2O_3および純In_2O_3と平衡する溶融Gaおよび溶融In中の酸素溶解度
研究期間が2年に短縮されたため、次年度に行うフラックス-メタル間の分配平衡の予備実験として、純Ga_2O_3-Ga間および純In_2O_3-In間の酸素の分配(溶解度)を測定し以下の結果を得た。
log(O in liquid Ga/mass%)=-6200/T+2.60(T:1123〜1523K)
log(O in liquid In/mass%)=-6500/T+3.70(T:1073〜1373K)
1/2O_2(g)=O(in liquid Ga) ΔG°=-233000+49.2T(J)
1/2O_2(g)=O(in liquid In) ΔG°=-181000+35.2T(J)

URL: 

公開日: 1995-02-08   更新日: 2016-04-21  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi