| 研究概要 |
Field Emitter Arrays(FEAs)作製システムの組み立てを平成5年度に終了し、平成6年度は、本装置を用いてSi,Cu,InP,Ni等FEAsの作製を行うと共に、それらの電子放射特性の評価を行った。その典型例をFig.1とFig.2に示す。
Fig.1はAr^+イオンスパッタリングによりNi基板上に形成されたコーンの集団であり、その密度は、10^9/cm^2に達する。これらのNiコーンから放出された電子電流の電流電圧特性(Fig.2)は、Fowler-Nordheimの関係を満たし、電子電流は、電界放出電子に因るものであると結論される。すなはち、このようなコーン集団は、FEAsとしての機能を有し、その実際応用が、今後の課題となる。
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